武汉大学姜杨慧获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料及其制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117344275B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311218337.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料及其制备方法与应用是由姜杨慧;杨兵;张俊;瓦西里;曾晓梅;张翔宇;陈燕鸣;黄家辉设计研发完成，并于2023-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料及其制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料的制备方法，包括：采用Al靶材通过磁控溅射在基体表面形成AlN压电功能层；通过控制磁控溅射中，氩气和氮气体积比、温度、溅射功率、沉积气压以及靶基距，使AlN压电功能层在沉积过程中呈多种取向生长。本发明制得的AlN压电涂层材料具有良好的力学性能、耐温性能和抗腐蚀性能，在不需要保护层的情况下，确保AlN压电涂层在高温和恶劣工况下具有长期稳定的服役能力，减少腐蚀等因素导致的失效可能性，可实现螺栓预紧力的精确无损测量，或实现钢基体缺陷检测和应力测量。本发明采用的溅射技术为工业上的通用技术，工业生产批量容易实现，加工效率较高，可以大幅度降低厂家的生产成本。
本发明授权可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料及其制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料的制备方法，其特征在于，包括：采用Al靶材，通过磁控溅射在基体表面形成AlN压电功能层； 所述磁控溅射中，溅射温度为60~250℃，靶基距为40~80mm，通入氩气和氮气体积比为3:1~1:2的混合气体至腔体内气压为1.0~2.8Pa，溅射功率为800~900W，沉积时间为8~10h； 所述AlN压电功能层在基体表面的生长取向包括002衍射晶面、100衍射晶面、101衍射晶面和102衍射晶面；AlN压电涂层材料在被激发的情况下能够同时发出纵波和横波的联合波，用于螺栓的预紧力检测，或用于钢板、焊缝、钢管的缺陷检测和应力测量。
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