中国科学院大连化学物理研究所王峰获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院大连化学物理研究所申请的专利一种氧化铈抛光粉及制备和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118026241B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211357286.X,技术领域涉及:C01F17/235;该发明授权一种氧化铈抛光粉及制备和应用是由王峰;张志鑫;王业红;石振设计研发完成,并于2022-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铈抛光粉及制备和应用在说明书摘要公布了:本发明涉及一种可用于精抛工艺过程的氧化铈抛光粉的制备方法,具体涉及铈盐与多元醇的混合溶液与沉淀剂溶液同时雾化混合,形成雾化沉淀物,经干燥和焙烧可得氧化铈抛光粉,该方法制得的氧化铈抛光粉中,氧化铈颗粒的平均一次粒径3±1nm,可用于精抛工艺,优化条件下可将工件的表面粗糙度抛光至0.1nm以下。
本发明授权一种氧化铈抛光粉及制备和应用在权利要求书中公布了:1.一种氧化铈抛光粉在精抛抛光工艺中的应用,其特征在于:将氧化铈抛光粉配制成化学机械抛光液被应用于精抛抛光工艺中, 氧化铈抛光粉的制备方法为:将醋酸铈溶解于水和新戊二醇的混合溶液中,形成铈的盐溶液,其中Ce离子浓度为0.03molL,Ce离子与新戊二醇的摩尔比为31;将BaOH2溶解于水中,形成0.5molL的溶液;将两种盐溶液,同时雾化并混合,通过调节两种盐溶液的进料速率,控制Ce离子与沉淀剂的摩尔比为1:5,雾化时的压力为7MPa,密闭容器中的气氛为N2,所得雾化沉淀物直接进入干燥,干燥温度为100℃,所得粉末状沉淀物,经350℃在氧气体积含量为1%,其余为氮气气氛中焙烧24h,即得氧化铈抛光粉,电镜表征表明,氧化铈为平均一次粒径3±1nm的颗粒状材料。
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