中国南方电网有限责任公司赵雅茜获国家专利权
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龙图腾网获悉中国南方电网有限责任公司申请的专利集成式无线无源压力传感器及环境气压检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118999881B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411409575.9,技术领域涉及:G06F3/01;该发明授权集成式无线无源压力传感器及环境气压检测设备是由赵雅茜;魏宇鹏;陈小瓦;云昌盛;董飞龙;吕前程设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成式无线无源压力传感器及环境气压检测设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种集成式无线无源压力传感器及环境气压检测设备。上述集成式无线无源压力传感器,包括密封衬底、敏感电容结构、补偿结构、与敏感电容结构连接的第一电感、与补偿结构连接第二电感以及分别与第一电感和第二电感焊接的焊盘,经焊盘可以外接一阻抗分析仪,以测量由补偿结构和第二电感组成的补偿谐振回路的补偿谐振频率;在集成式无线无源压力传感器所处的环境中的气压发生变化时,可以测量由敏感电容结构和第一电感组成的气压敏感谐振回路的气压敏感谐振频率;根据气压敏感谐振频率和补偿谐振频率即可确定环境中气压变化引起的谐振频率。上述集成式无线无源压力传感器能够提高测量准确性。
本发明授权集成式无线无源压力传感器及环境气压检测设备在权利要求书中公布了:1.一种集成式无线无源压力传感器,其特征在于,包括:密封衬底、敏感电容结构、补偿结构、与所述敏感电容结构连接的第一电感、与所述补偿结构连接的第二电感以及分别与所述第一电感和所述第二电感焊接的焊盘; 其中,所述敏感电容结构包括第一上电极、与所述第一上电极平行设置的压力敏感膜、与所述压力敏感膜平行设置的第一下电极;所述第一上电极与所述压力敏感膜之间存在间隙,所述压力敏感膜设置在所述第一上电极和所述第一下电极之间;所述第一下电极与所述压力敏感膜贴合设置; 所述补偿结构包括第二上电极、与所述第二上电极平行设置的介质层、与所述介质层平行设置的第二下电极;所述介质层设置在所述第二上电极和所述第二下电极之间; 所述第一电感设置于所述第一下电极的上表面,所述第二电感设置于所述第二下电极的上表面; 在所述密封衬底上固定所述第一下电极和所述第二下电极,且所述密封衬底与所述第一下电极之间存在一空腔; 其中,所述第一电感和所述第二电感对称设置在所述敏感电容结构和所述补偿结构所在区域的两侧; 所述第一上电极上有释放孔;所述释放孔为多个,且呈均匀分布; 所述介质层在所述密封衬底上的投影覆盖所述第一电感和所述第二电感在所述密封衬底的投影区域。
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