华南师范大学;深圳市国华光电科技有限公司胡小文获国家专利权
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龙图腾网获悉华南师范大学;深圳市国华光电科技有限公司申请的专利一种钙钛矿薄膜的高精度图案化方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119141001B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411175347.X,技术领域涉及:B23K26/362;该发明授权一种钙钛矿薄膜的高精度图案化方法及应用是由胡小文;温雪冰;姜小芳;李伟;周国富设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钙钛矿薄膜的高精度图案化方法及应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种钙钛矿薄膜的高精度图案化方法,所述钙钛矿薄膜的高精度图案化方法包括如下步骤:S1、将聚合物和钙钛矿前驱体加入溶剂中,加热搅拌,得到钙钛矿前驱体溶液;S2、将所述钙钛矿前驱体溶液涂覆到基板上,得到钙钛矿前驱体薄膜;S3、将所述钙钛矿前驱体薄膜退火,得到钙钛矿薄膜;S4、将所述钙钛矿薄膜使用飞秒激光直写技术进行处理,得到高精度图案化的钙钛矿薄膜。本发明利用飞秒激光的超高峰值强度,结合激光直写系统的数字处理特性,在钙钛矿薄膜上指定区域实现高精度的激光烧蚀图案化,可实现最小特征尺寸达80nm,约为曝光源的λ10,打破了光学衍射极限,这是其他图案化技术所不能实现的。
本发明授权一种钙钛矿薄膜的高精度图案化方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种钙钛矿薄膜的高精度图案化方法,其特征在于,所述钙钛矿薄膜的高精度图案化方法包括如下步骤: S1、将聚合物和钙钛矿前驱体加入溶剂中,加热搅拌,得到钙钛矿前驱体溶液; S2、将所述钙钛矿前驱体溶液涂覆到基板上,得到钙钛矿前驱体薄膜; S3、将所述钙钛矿前驱体薄膜退火,得到钙钛矿薄膜; S4、将所述钙钛矿薄膜使用飞秒激光直写技术进行处理,得到高精度图案化的钙钛矿薄膜; 其中, 所述钙钛矿为纳米晶钙钛矿; 所述钙钛矿薄膜中,聚合物的质量分数为70-90%; 所述钙钛矿的导热率为0.4-10Wm.K;所述聚合物的导热率为0.1-0.5Wm.K; 步骤S1中,所述加热的温度为50-90℃;所述搅拌的时间为1-5h; 步骤S3中,所述退火的温度为60-90℃;时间为10-30min; 步骤S4中,所述飞秒激光的波长为700-1080nm; 所述飞秒激光所形成的光斑中,由光斑的中心到周边,飞秒激光的能量呈高斯分布曲线,所述高斯分布曲线的峰值能量达到200mW,并且能量从所述高斯分布曲线的中间向两边递减; 所述飞秒激光的脉冲宽度为50-200fs; 所述飞秒激光的功率为0.1-200mW; 所述飞秒激光的光斑直径为0.5-50μm; 激光直写过程发生的是非线性多光子吸收; 通过精确控制激光强度,使聚焦光斑中小部分超过钙钛矿烧蚀阈值,从而使特征尺寸超过光学衍射极限,达到曝光源的λ10,最小线宽为80nm。
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