中国电子科技集团公司第四十一研究所杨延召获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十一研究所申请的专利一种光电导天线芯片快速测试装置及其测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119147949B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411381680.6,技术领域涉及:G01R31/311;该发明授权一种光电导天线芯片快速测试装置及其测试方法是由杨延召;吴斌;蔡高航;张集权;赵耀;尚福洲设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光电导天线芯片快速测试装置及其测试方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光电导天线芯片测试技术领域,提供了一种光电导天线芯片快速测试装置及其测试方法,包括光源、第一测试光路、第二测试光路、耦合触发模块、待测模块、数据采集模块和数据处理模块,使用两束具有重复频率差的光源结合激光扫描振镜与激光透镜分别激励贴近安装的发射芯片与探测芯片,并向发射芯片施加偏置电压,发射芯片在激光与偏置电压的共同作用下产生太赫兹波,太赫兹波辐射到探测芯片上,使探测芯片产生电信号,通过检测与分析电信号判断芯片质量,实现了芯片的流水线化快速测试,显著提升了芯片的测试效率。
本发明授权一种光电导天线芯片快速测试装置及其测试方法在权利要求书中公布了:1.一种光电导天线芯片快速测试装置,其特征在于,包括: 光源1,所述光源1发射具有锁定的重复频率的激光M与激光S,所述激光M与激光S间具有重复频率差; 第一测试光路,包括第一耦合器2、第一激光扫描振镜6和第一激光透镜8,所述第一耦合器2分束并分配激光M,所述激光M分束为激光M1与激光M2,所述激光M1输出至第一激光扫描振镜6,所述第一激光扫描振镜6控制激光光束的偏转,所述第一激光透镜8聚焦激光; 第二测试光路,包括第二耦合器3、第二激光扫描振镜7和第二激光透镜9,所述第二耦合器3分束并分配激光S,所述激光S分束为激光S1与激光S2,所述激光S1输出至第二激光扫描振镜7,所述第二激光扫描振镜7控制激光光束的偏转,所述第二激光透镜9聚焦激光; 耦合触发模块,包括第三耦合器4和触发模块5,所述第三耦合器4为并束耦合器,所述激光M2和激光S2输出至第三耦合器4中并束激光,所述触发模块5采集产生相干作用的并束激光产生触发信号; 待测模块10,包括安装架15、偏置电压模块12以及安装在安装架15中的发射芯片16与探测芯片17,所述偏置电压模块12向所述发射芯片16施加偏置电压,所述激光M1激励所述发射芯片16产生太赫兹波,所述激光S1激励探测芯片17并在太赫兹波的辐射下产生电信号; 数据采集模块11,所述数据采集模块11接收触发信号与探测芯片17的电信号; 数据处理模块13,所述数据处理模块13处理测试结果。
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