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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119198440B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411543384.1，技术领域涉及：G01N11/16；该发明授权一种振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片及其工作方法是由黄琳雅;牛刚;王路;武和平;任巍;赵立波;蒋庄德设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明属于MEMS传感器领域，具体涉及一种振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片及其工作方法，芯片包括硅基固支体，硅基固支体上设有固支体空腔，固支体空腔中设有矩形的且自由端相对设置的第一、第二微悬臂板，第一、第二微悬臂板的自由端之间具有振动耦合间隙，第二微悬臂板的长度小于第一微悬臂板的长度；第一微悬臂板在其宽度方向上对称设有第一压电驱动电极和第一压电拾振电极，第二微悬臂板在其宽度方向上对称设有第二压电驱动电极和第二压电拾振电极，第一压电驱动电极、第一压电拾振电极、第二压电驱动电极和第二压电拾振电极均连接有金属引线。本发明振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片能够显著提升流体测量精度与稳定性等测量性能。

本发明授权一种振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片，其特征在于，包括硅基固支体1，硅基固支体1上设有固支体空腔7，硅基固支体1上在固支体空腔7设有双压电微悬臂板悬空结构，双压电微悬臂板悬空结构包括矩形的且自由端相对设置的第一微悬臂板2和第二微悬臂板4，第一微悬臂板2自由端和第二微悬臂板4的自由端之间具有振动耦合间隙15，第二微悬臂板4的长度小于第一微悬臂板2的长度； 第一微悬臂板2在其宽度方向上对称设有第一压电驱动电极3-1和第一压电拾振电极3-2，第二微悬臂板4在其宽度方向上对称设有第二压电驱动电极5-1和第二压电拾振电极5-2，第一压电驱动电极3-1与第二压电驱动电极5-1位于同一侧，第一压电拾振电极3-2与第二压电拾振电极5-2位于同一侧，第一压电驱动电极3-1、第一压电拾振电极3-2、第二压电驱动电极5-1和第二压电拾振电极5-2均连接有金属引线6。

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