泉州市三安集成电路有限公司吴雁冬获国家专利权
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龙图腾网获悉泉州市三安集成电路有限公司申请的专利声表面波器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119232106B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411321150.2,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权声表面波器件及其制备方法是由吴雁冬;李岩设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本声表面波器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种声表面波器件及其制备方法。声表面波器件包括衬底、焊盘、叉指换能器、导热金属结构和散热金属层;沿衬底的厚度方向,衬底具有相对的第一表面和第二表面;焊盘、叉指换能器均设置于第一表面;焊盘与叉指换能器通过金属布线结构连接;叉指换能器之间通过金属布线结构连接;散热金属层设置于第二表面;导热金属结构的一端设置于第一表面,另一端与散热金属层连接;导热金属结构不与叉指换能器接触。如此能够将导热金属于散热金属连接将芯片表面区域的热量引至芯片背面,增大散热面积,增强产品散热能力。
本发明授权声表面波器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种声表面波器件,其特征在于,包括: 衬底100、焊盘11、叉指换能器300、导热金属结构400和散热金属层12; 沿所述衬底的厚度方向A,所述衬底100具有相对的第一表面110和第二表面120; 所述焊盘11、所述叉指换能器300均设置于所述第一表面110;所述焊盘11与所述叉指换能器300通过金属布线结构13连接;所述叉指换能器300之间通过金属布线结构13连接; 所述散热金属层12设置于所述第二表面120;所述导热金属结构400的一端设置于所述第一表面110,另一端与所述散热金属层12连接;所述导热金属结构400不与所述叉指换能器300接触; 所述导热金属结构400包括水平段410和竖直段420; 所述水平段410设置于所述第一表面110上; 所述竖直段420的一端与所述水平段410的端部连接,所述竖直段420的另一端沿所述衬底的厚度方向A延伸至所述散热金属层12。
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