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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119246335B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411543368.2，技术领域涉及：G01N11/16；该发明授权一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片及其工作方法是由黄琳雅;牛刚;王路;任鑫;任巍;赵立波;蒋庄德设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明属于MEMS传感器技术领域，公开了一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片及其工作方法，硅基固支体上连接有第一、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构，第一阶、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构均包括矩形且同轴设置的支撑板和宽板悬臂，支撑板的两端分别与硅基固支体和宽板悬臂连接，支撑板的宽度小于宽板悬臂的宽度；宽板悬臂表面布置有金属层线圈；支撑板上对称设有压电电极对，每个电极连接有金属引线；两支撑板之间连接有刚度衔接梁，两支撑板的大小相同，第一宽板悬臂的长度和宽度分别小于、等于第二宽板悬臂的长度和宽度。本发明提升了黏度传感器浸于黏性流体中的振动特性，从而提升其黏度测量精度与稳定性。

本发明授权一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片，其特征在于，包括硅基固支体7，硅基固支体7上连接有第一阶梯微悬臂板阵列悬空结构15和第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构16，第一阶梯微悬臂板阵列悬空结构15和第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构16均包括矩形且同轴设置的支撑板和宽板悬臂，支撑板的两端分别与硅基固支体和宽板悬臂连接，支撑板的宽度小于宽板悬臂的宽度；宽板悬臂表面布置有金属层线圈6；支撑板上设有压电电极对，压电电极对中的两个电极关于支撑板长度方向的对称轴对称布置，每个电极均连接有金属引线8；第一阶梯微悬臂板阵列悬空结构15和第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构16的支撑板之间连接有刚度衔接梁5，第一阶梯微悬臂板阵列悬空结构15和第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构16的支撑板的大小相同，第一阶梯微悬臂板阵列悬空结构15的宽板悬臂的长度小于第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构16的宽板悬臂的长度，第一阶梯微悬臂板阵列悬空结构15的宽板悬臂的宽度等于第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构16的宽板悬臂的宽度。

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