上海点莘技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海点莘技术有限公司申请的专利芯粒位置度的测量方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119252749B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411305599.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权芯粒位置度的测量方法及装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯粒位置度的测量方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件工艺过程量测检测领域，公开了一种芯粒位置度的测量方法、装置、设备、计算机可读存储介质以及计算机程序产品，用于解决现有技术中对芯粒位置度进行测量时依赖参考点，且测量结果不准确的技术问题。该方法包括：获取初始的实际芯粒阵列的第一位置信息，获取理论芯粒阵列的第二位置信息；对实际芯粒阵列进行旋转平移变换以与理论芯粒阵列进行匹配拟合；获取旋转平移变换后的实际芯粒阵列和理论芯粒阵列达到最大化重合时实际芯粒阵列对应的拟合变换矩阵；根据第一位置信息和拟合变换矩阵计算最大化重合时实际芯粒阵列的第三位置信息；根据第二位置信息和第三位置信息计算实际芯粒阵列的芯粒位置度。
本发明授权芯粒位置度的测量方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种芯粒位置度的测量方法，其特征在于，包括： 获取初始的实际芯粒阵列的第一位置信息，获取理论芯粒阵列的第二位置信息； 对所述实际芯粒阵列进行旋转平移变换，计算所述旋转平移后的实际芯粒阵列中各芯粒与理论芯粒阵列中对应芯粒之间距离的均方根值，当所述均方根值最小时，所述旋转平移变换后的实际芯粒阵列和所述理论芯粒阵列达到最大化重合，从而与所述理论芯粒阵列进行匹配拟合； 获取所述均方根值最小时实际芯粒阵列中各芯粒和理论芯粒阵列中各芯粒的位置对应关系； 获取旋转平移变换后的实际芯粒阵列和所述理论芯粒阵列达到最大化重合时所述实际芯粒阵列对应的拟合变换矩阵； 根据所述第一位置信息和所述拟合变换矩阵计算最大化重合时实际芯粒阵列的第三位置信息； 根据所述第二位置信息和第三位置信息和各芯粒的位置对应关系，计算实际芯粒阵列的芯粒位置度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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