深圳优艾智合机器人科技有限公司许瑨获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳优艾智合机器人科技有限公司申请的专利用于晶圆盒的夹具及搬运机器人获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119275150B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411447396.4,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权用于晶圆盒的夹具及搬运机器人是由许瑨;边旭;潘彬;詹永皇;黄柏燊;张弢设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆盒的夹具及搬运机器人在说明书摘要公布了:本发明涉及夹具技术领域,公开了一种用于晶圆盒的夹具及搬运机器人,夹具包括安装支架、夹爪组件以及驱动组件,夹爪组件包括两个夹爪,驱动组件包括驱动电机和两个驱动块,驱动电机设于安装支架,两个驱动块滑动设于安装支架,各夹爪一一对应连接于各驱动块,驱动电机用于驱动两个驱动块沿相互靠近或者相互背离的方向运动,以使两个夹爪夹取或者放开晶圆盒;其中,两个夹爪相向的一面均设有第一夹持部和第二夹持部,第一夹持部用于夹持晶圆盒的开口朝第一方向时的第一侧壁,第二夹持部用于夹持晶圆盒的开口朝第二方向时的第二侧壁。本发明旨在解决对多种位置状态存放下的晶圆盒进行夹取的技术问题,以提高夹具的适用性。
本发明授权用于晶圆盒的夹具及搬运机器人在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆盒的夹具,其特征在于,包括:安装支架、夹爪组件以及驱动组件,所述夹爪组件包括两个夹爪,所述驱动组件包括驱动电机和两个驱动块,所述驱动电机设于所述安装支架,两个驱动块滑动设于所述安装支架,各所述夹爪一一对应连接于各所述驱动块,所述驱动电机用于驱动两个所述驱动块沿相互靠近或者相互背离的方向运动,以使两个所述夹爪夹取或者放开所述晶圆盒; 其中,两个所述夹爪相向的一面均设有第一夹持部和第二夹持部,所述第一夹持部用于夹持所述晶圆盒的开口朝第一方向时的第一侧壁,所述第二夹持部用于夹持所述晶圆盒的开口朝第二方向时的第二侧壁; 两个所述夹爪的夹持位置下方设置有夹持框架,所述夹持框架与所述安装支架连接固定,所述夹持框架用于在所述夹具翻转后夹持所述晶圆盒;所述夹持框架包括框架本体和安装部,所述安装部固定于所述框架本体的顶部,所述框架本体通过所述安装部与所述安装支架连接固定; 所述安装支架包括向安装部延伸的固定部,所述安装部与所述固定部可拆卸连接。
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