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龙图腾网获悉中科慧远视觉技术(洛阳)有限公司;中科慧远半导体技术(广东)有限公司;中科慧远视觉技术(北京)有限公司申请的专利一种晶圆照亮光束稳定系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119534316B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411514134.5，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种晶圆照亮光束稳定系统和方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;张武杰设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆照亮光束稳定系统和方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆照亮光束稳定系统和方法，所属晶圆片缺陷检测技术领域，包括：光源光束经照明组件自身折射和反射形成两个光束，第二光束射向工件移动组件上的待测件，第二光束在待测件上形成第二光斑并反射第三光束，第三光束射向反射监测组件形成第三光斑，反射监测组件通过监测第三光束形成的第三光斑位置来监测第二光束形成的第二光斑位置；信号控制组件根据接收到的反射监测组件发出的第三光斑的位置信息获得第二光斑的位置信息，向工件移动组件传递控制信号，控制工件移动组件移动，使每次对待测件进行缺陷检测时，第二光斑都能够将待测件的指定位置照亮，有利于提高缺陷检测的准确性，并能够适应不同的缺陷检测模式，适用范围广。

本发明授权一种晶圆照亮光束稳定系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆照亮光束稳定系统，所述晶圆照亮光束稳定系统设置在平台上，其特征在于，所述晶圆照亮光束稳定系统包括： 照明组件，所述照明组件折射光源光束至少形成第一光束和第二光束，所述照明组件可调整的设置在所述平台上，以调节所述光源光束的分光角度； 工件移动组件，所述工件移动组件用于移动待测件，所述待测件接收所述第二光束，能够反射出第三光束； 反射监测组件，所述反射监测组件用于监测所述第三光束形成的光斑； 信号控制组件，所述信号控制组件用于控制所述工件移动组件移动，所述信号控制组件接收所述反射监测组件的检测信号，所述信号控制组件至少根据所述反射监测组件的检测信号向所述工件移动组件传递控制信号； 光源监测组件，所述光源监测组件接收所述第一光束，所述光源监测组件监测所述第一光束形成的光斑。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中科慧远视觉技术(洛阳)有限公司;中科慧远半导体技术(广东)有限公司;中科慧远视觉技术(北京)有限公司，其通讯地址为：471033 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区涧西区蓬莱路2号洛阳国家大学科技园5幢101室、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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