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龙图腾网获悉江苏集萃光敏电子材料研究所有限公司申请的专利一种193nm光刻胶树脂的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119613607B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411969219.2，技术领域涉及：C08F220/18；该发明授权一种193nm光刻胶树脂的制备方法是由李三保;聂俊设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种193nm光刻胶树脂的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种193nm光刻胶树脂的制备方法包括以下步骤：树脂合成得到合成树脂溶液，合成时合成的单体包括以下摩尔百分比的原料：99.9~99.99%抗刻蚀的甲基丙烯酸酯单体、0.01~0.1%带环氧的甲基丙烯酸酯单体；去除合成树脂溶液中的杂质和未反应的单体得到一号树脂溶液；去除一号树脂溶液中的金属杂质得到二号树脂溶液；将二号树脂溶液中的溶剂置换成电子级溶剂得到三号树脂溶液；在三号树脂溶液中通过添加电子级仲叔胺基团的树脂溶液，电子级仲胺化合物的摩尔量为带环氧的甲基丙烯酸酯单体中环氧基团摩尔量的95~100%。本发明中树脂合成过程中引入的环氧基团单体为甲基丙烯酸酯，不会影响到树脂的基本结构、耐刻蚀性、透光性等，由于叔胺基团合成在树脂上，后期使用时不会挥发。

本发明授权一种193nm光刻胶树脂的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种193nm光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1树脂合成得到合成树脂溶液，合成时合成的单体包括以下摩尔百分比的原料：99.9~99.99%抗刻蚀的甲基丙烯酸酯单体、0.01~0.1%的3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷或带环氧的甲基丙烯酸酯单体，抗刻蚀的甲基丙烯酸酯单体为1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯、1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯、1-异丙基环戊基甲基丙烯酸酯、1-甲基环己基甲基丙烯酸酯、1-乙基环己基甲基丙烯酸酯、1-异丙基环己基甲基丙烯酸酯、2-甲基-2-金刚烷醇甲基丙烯酸酯、2-乙基-2-金刚烷醇甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸-1-1-金刚烷-1-甲基乙酯、2-异丙基-2-甲基丙烯酸金刚烷醇酯、3-羟基-1-金刚烷醇甲基丙烯酸酯、2-羧基-4-降冰片内酯-5-甲基丙烯酸酯、2-羧基-4-降冰片内酯-5-乙酰氧基甲基丙烯酸酯、全氟丁基乙基甲基丙烯酸酯、全氟己基乙基甲基丙烯酸酯中的3~8种；所述带环氧的甲基丙烯酸酯单体为甲基丙烯酸缩水甘油醚、3，4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯中的一种； 2在合成树脂溶液中加入600份的正己烷，沉淀后倒出上层液，沉淀物加入乙酸乙酯溶解到300份；重复该步骤3次得到一号树脂溶液； 3去除一号树脂溶液中的金属杂质得到二号树脂溶液； 4将二号树脂溶液在60℃下真空干燥48h得到干燥产物，用电子级溶剂溶解干燥产物得到三号树脂溶液； 5在三号树脂溶液中添加电子级仲胺化合物反应生成带叔胺基团的树脂溶液，电子级仲胺化合物的摩尔量为3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷中含氧杂环或带环氧的甲基丙烯酸酯单体中环氧基团摩尔量的95~100%；电子级仲胺化合物为吗啉、3-哌啶甲酸乙酯、亚氨基二乙酸二乙酯、3-羟甲基哌啶、N-甲基-3-氟苄胺中的一种。

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