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深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测系统的控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119666744B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411856046.3,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种检测系统的控制方法是由陈鲁;尉佩;马砚忠;郁健;袁明波设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种检测系统的控制方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种检测系统的控制方法,检测系统包括照明模块、第一检测设备,以及照明模块和第一检测设备之间的分光模块和第一功率调整模块,照明模块用于提供照明光束,第一检测设备用于对第一待测表面进行检测得到第一检测信号,分光模块用于对照明光束进行分光得到第一子光束和第二子光束,基于第一子光束可以对第一检测设备进行照亮,基于第二子光束可以进行光功率检测,因此可以兼顾照亮和光检测,在实际光功率超出预设范围时,调整透过所述第一功率调整模块的光束的光功率,以调整所述第一检测信号的强度,若所述第一检测信号的强度满足预设条件,停止对透过所述第一功率调整模块的光束的光功率的调整,实现光功率的准确调整。

本发明授权一种检测系统的控制方法在权利要求书中公布了:1.一种检测系统的控制方法,其特征在于,所述检测系统包括照明模块、第一检测设备以及所述照明模块和所述第一检测设备之间的分光模块和第一功率调整模块,所述照明模块用于提供照明光束,所述第一检测设备用于对第一待测表面进行检测得到第一检测信号,所述分光模块用于对所述照明光束分光得到第一子光束和第二子光束,所述第一子光束透过所述第一功率调整模块进入所述第一检测设备,所述第二子光束进入光功率检测模块;所述光功率检测模块用于对进入的光束进行光功率检测得到实际光功率; 所述方法包括: 在所述实际光功率超出预设范围时,调整透过所述第一功率调整模块的光束的光功率,以调整所述第一检测信号的强度; 若所述第一检测信号的强度满足预设条件,停止对透过所述第一功率调整模块的光束的光功率的调整;所述第一检测信号包括第一干涉图像,所述预设条件包括:所述第一干涉图像的对比度处于预设对比度范围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司,其通讯地址为:518110 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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