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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119687586B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411972740.1，技术领域涉及：F25B7/00；该发明授权一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法是由郑璐;胡文达;于浩;靳李富;刘紫阳;芮守祯;曹小康;何茂栋;董春辉设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及集成电路行业半导体专用温控系统技术领域，提供一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法，其中，带预冷的自复叠半导体温控系统包括循环液子系统、预冷子系统和自复叠子系统，预冷子系统包括第一蒸发器和预冷压缩机，预冷子系统通过第一蒸发器与循环液子系统连接；自复叠子系统包括自复叠压缩机、第二蒸发器和冷凝蒸发器，自复叠子系统通过第二蒸发器与循环液子系统连接，自复叠子系统通过冷凝蒸发器与预冷子系统连接。本申请实现提高了自复叠制冷系统的应用范围，既可在高温区+80℃～‑40℃温区稳定运行，也可保证自复叠制冷系统在‑140℃～‑40℃内稳定运行，减少开机超压宕机的风险及降温过程中自复叠子系统压力偏高的现象。

本发明授权一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种带预冷的自复叠半导体温控系统，其特征在于，包括： 循环液子系统，所述循环液子系统与主设备连接，所述循环液子系统用于向所述主设备提供降温后的循环液； 预冷子系统，所述预冷子系统包括第一蒸发器和预冷压缩机，所述第一蒸发器和所述预冷压缩机连接，所述预冷子系统通过所述第一蒸发器与所述循环液子系统连接； 自复叠子系统，所述自复叠子系统包括自复叠压缩机、第二蒸发器和冷凝蒸发器，所述自复叠压缩机分别与所述冷凝蒸发器和所述第二蒸发器连接，所述自复叠子系统通过所述第二蒸发器与所述循环液子系统连接，所述自复叠子系统通过所述冷凝蒸发器与所述预冷子系统连接； 所述自复叠子系统包括分凝分离器、第一制冷回路和第二制冷回路，所述第一制冷回路连接于所述冷凝蒸发器和所述分凝分离器之间，所述第二制冷回路连接于所述第二蒸发器和所述分凝分离器之间； 所述预冷子系统包括冷凝器、第一预冷回路和第二预冷回路，所述冷凝器连接于所述预冷压缩机的前端，所述第一预冷回路依次连通所述冷凝器、所述第一蒸发器和所述预冷压缩机，所述第二预冷回路连接于所述冷凝蒸发器和所述冷凝器之间； 所述自复叠子系统还包括第二冷喷支路，所述第二冷喷支路连接于所述自复叠压缩机入口和所述分凝分离器之间，所述第二冷喷支路上设有第二冷喷电磁阀和第一毛细管，所述自复叠压缩机和所述冷凝蒸发器之间设有自复叠排气温度传感器和自复叠排气压力传感器； 当所述自复叠排气温度传感器监测第二排气温度超过预设值Tb时，所述第二冷喷电磁阀开启，以通过所述第一毛细管进行节流降温； 当所述自复叠排气温度传感器监测第二排气温度低于预设值Tb后，延时n秒关闭； 所述自复叠还包括储气支路，所述储气支路的一端连接于所述自复叠压缩机入口和所述分凝分离器之间，所述储气支路的另一端连接于所述冷凝蒸发器和所述分凝分离器之间，所述储气支路上设有储气罐、排气阀和进气阀，所述进气阀连接于所述储气罐和所述冷凝蒸发器之间，所述排气阀连接于所述储气罐和所述自复叠压缩机之间，所述自复叠压缩机和所述冷凝蒸发器之间还设有自复叠排气压力传感器，所述循环液子系统上设有供液温度传感器； 在通过所述第一毛细管进行节流降温的过程中，当所述自复叠排气压力传感器监测排气压力超出设定值Ｐｖ1时，所述进气阀打开进行泄压； 当所述自复叠排气压力传感器监测排气压力低于设定值Ｐｖ1时，所述进气阀关闭； 当所述供液温度传感器监测实时值降至-40℃以下时，所述排气阀打开，释放储气罐中的气体，通过释放混合工质中低沸点组分，以实现降压； 所述第二制冷回路设有第三制冷电子脉冲阀以及并联连接于所述第三制冷电子脉冲阀两端的毛细支路，所述毛细支路上设有第二毛细管； 在所述第一制冷回路中，制冷剂在所述冷凝蒸发器中释放热量，再流经分凝分离器； 在所述第二制冷回路中，制冷剂在所述第二蒸发器中吸收热量，再流向分凝分离器； 所述第二预冷回路连接自复叠子系统中的冷凝蒸发器和预冷子系统中的冷凝器，形成了一个额外的热交换路径，第二预冷回路的作用是在自复叠子系统运行前，对自复叠子系统进行预冷； 所述分凝分离器用于将多元混合工质进行分离，混合工质中高沸点组分通过第三毛细管进行节流，在回热器内蒸发，将低沸点组分冷凝成液体，混合工质中低沸点组分再分别通过第三制冷电子脉冲阀和第四毛细管、第二毛细管进行节流降温，以此往复循环； 第一制冷回路是为了处理多元混合工质中的高沸点组分；第二制冷回路主要处理多元混合工质中的低沸点组分。

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