西安交通大学王久洪获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种氧化镓基柔性自供电型日盲紫外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119698132B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411903543.4,技术领域涉及:H10F77/30;该发明授权一种氧化镓基柔性自供电型日盲紫外探测器及其制备方法是由王久洪;张子涵;秦睿;张馨月;卢德江;赵立波设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化镓基柔性自供电型日盲紫外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于氧化镓的柔性自供电日盲紫外探测器及其制备方法,专门设计用于在复杂环境下进行高效且低功耗的紫外光探测。该探测器特色在于其非对称电极以及氧化铝钝化层的设计。具体包括位于氧化镓薄膜上的第一金属电极和第二金属电极,两者通过其材质和尺寸的不同,通过不同的工艺过程以及图形化的钝化层,可以分别形成肖特基和欧姆接触,从而有效提光电性能。第一金属电极通过增大接触面积、材料的选择、退火工艺实现高质量欧姆接触。第二金属电极通过材料的选择、钝化层的引入实现肖特基接触并提升接触势垒。这种非对称的电极设计可增强内建电场,有效实现光生载流子的分离,从而更好实现自供电。
本发明授权一种氧化镓基柔性自供电型日盲紫外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化镓基柔性自供电型日盲紫外探测器,其特征在于,包括衬底层1,所述衬底层1上制备有氧化镓薄膜2;所述氧化镓薄膜2上制备有第一金属电极3;所述氧化镓薄膜2上制备有钝化层4;所述第一金属电极3和所述氧化镓薄膜2之间的接触面与钝化层4形状互补;所述第一金属电极3与所述钝化层4均与所述氧化镓薄膜2直接接触;所述钝化层4上制备有第二金属电极5;所述第二金属电极5与第一金属电极3构成叉指电极结构; 所述第一金属电极3与所述氧化镓薄膜2间形成欧姆接触;所述第二金属电极5与所述氧化镓薄膜2形成肖特基接触; 所述第一金属电极3与所述氧化镓薄膜2之间的接触面积与所述第二金属电极5与所述氧化镓薄膜2之间的接触面积之比大于或等于2。
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