杭州宏隽科技有限公司严敬敬获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州宏隽科技有限公司申请的专利一种用于真空镀膜机的控制系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119710611B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411813767.6,技术领域涉及:C23C14/54;该发明授权一种用于真空镀膜机的控制系统是由严敬敬;梁成民;谈荣国;田亮;郭子豪设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空镀膜机的控制系统在说明书摘要公布了:本发明涉及真空镀膜技术领域,具体公开了一种用于真空镀膜机的控制系统,包括真空稳定状态分析模块、气体流量匹配分析模块、镀膜环境控制分析模块、镀膜参数控制分析模块。通过电容式压力传感器精确采集各控制时段各监测时间点的压强值,并计算压强平均值,能直观反映该时段内真空压强的总体水平,为判断真空度是否处于合适范围提供基础数据;通过对真空镀膜机采用主动式的监控与预防机制不仅保障了镀膜生产的连续性与稳定性,还为设备的预防性维护提供了科学依据,延长设备使用寿命,降低设备突发故障的概率,提升整个真空镀膜生产系统的可靠性、高效性与智能化水平,有助于企业在镀膜加工领域提高竞争力,降低生产成本并提高产品质量。
本发明授权一种用于真空镀膜机的控制系统在权利要求书中公布了:1.一种用于真空镀膜机的控制系统,其特征在于,包括真空稳定状态分析模块、气体流量匹配分析模块、镀膜环境控制分析模块、镀膜参数控制分析模块;其特征在于: 真空稳定状态分析模块基于真空镀膜机在工作过程中对应各控制时段中各监测时间点的压强值和真空度变化率进行综合计算分析,得到真空镀膜机在工作过程中对应各控制时段的真空稳定状态指数; 基于真空镀膜机在工作过程中对应各控制时段中各监测时间点的压强值和真空度变化率进行综合计算分析的方式如下: 通过电容式压力传感器对真空镀膜机对应各控制时段中各监测时间点的压强值进行实时监测采集,得到真空镀膜机对应各控制时段中各监测时间点的压强值,记为YPij;其中,i=1,2,……,n,i表示为各控制时段的编号,n表示为各控制时段编号的总数,j=1,2,……,m,j表示为各监测时间点的编号,m表示为各监测时间点编号的总数; 通过将真空镀膜机对应各控制时段中各监测时间点的压强值进行求和后除以m个监测时间点,得到真空镀膜机对应各控制时段的压强平均值,记为; 通过将真空镀膜机对应各控制时段中相邻两个监测时间点的压强差值和相邻两个监测时间点的时间间隔进行比值计算,得到真空镀膜机对应各控制时段中各监测时间点的真空度变化率,记为ZBij,同时对真空镀膜机对应各控制时段的真空变化率进行求和后除以m-1个真空度变化率计算次数,得到真空镀膜机对应各控制时段的真空变化率平均值,记为; 分别计算出真空镀膜机对应各控制时段的真空压强稳定值YWi和真空变化稳定值ZWi; 得到真空镀膜机对应各控制时段的真空稳定状态指数的具体计算分析方式如下: 依据公式计算出真空镀膜机对应各控制时段的真空稳定状态指数SWi,YWc和ZWc分别表示为真空镀膜机对应各控制时段的真空压强稳定值和真空变化稳定值相应设定的阈值; 若真空镀膜机对应某个控制时段的真空稳定状态指数的数值超过0.5,则表示真空镀膜机对应该控制时段的真空系统稳定性存在异常,生成真空稳定性异常信号,此时真空镀膜机控制系统中发出异常警报,反之,则表示真空镀膜机对应该控制时段的真空系统稳定; 气体流量匹配分析模块基于真空镀膜机在工作过程中对应各控制时段中各监测时间点的各类进气气体的进气流量和出气流量进行综合计算分析,得到真空镀膜机对应各控制时段的流量匹配状态指数; 镀膜环境控制分析模块基于真空镀膜机对应各控制时段的真空稳定状态指数和流量匹配状态指数进行综合计算分析,得到真空镀膜机对应各控制时段的镀膜环境控制系数; 镀膜参数控制分析模块基于真空镀膜机在工作过程中对应各控制时段中各监测时间点的温度参数和膜厚参数进行综合计算分析,得到真空镀膜机对应各控制时段的镀膜综合控制系数。
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