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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种高频率稳定性的MEMS谐振器结构及其MEMS谐振式仪器仪表设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119766189B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411831562.0，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权一种高频率稳定性的MEMS谐振器结构及其MEMS谐振式仪器仪表设备是由韦学勇;徐宇涛;王纯;蒋庄德设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高频率稳定性的MEMS谐振器结构及其MEMS谐振式仪器仪表设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种高频率稳定性的MEMS谐振器结构，包括分别连接在弹性连接梁左右两端的第一、第二MEMS谐振器，弹性连接梁的上下两侧分别和第一、第二可变功能结构连接；第一、第二可变功能结构分别和第一、第二锚定结构连接；本发明MEMS谐振器通过模态匹配、振动抵消以及柔性支撑等手段，降低了同频振动的一对MEMS谐振器的锚定损耗，从而实现了MEMS谐振器Q值的提升；利用双MEMS谐振器的结构，降低谐振器运动阻抗；利用位于结构中心的可变功能结构在加热控制电压作用下表现出来的焦耳热效应，实现了对于MEMS谐振器结构快速一致的原位频率调节；本发明还提供了具有所述的高频率稳定性的MEMS谐振器结构的MEMS谐振式仪器仪表设备。

本发明授权一种高频率稳定性的MEMS谐振器结构及其MEMS谐振式仪器仪表设备在权利要求书中公布了：1.一种高频率稳定性的MEMS谐振器结构，其特征在于：包括分别连接在弹性连接梁2左右两端的第一MEMS谐振器1-1和第二MEMS谐振器1-2，弹性连接梁2的上下两侧分别和第一可变功能结构3-1、第二可变功能结构3-2连接；第一可变功能结构3-1、第二可变功能结构3-2分别和第一锚定结构4-1、第二锚定结构4-2连接； 所述第一MEMS谐振器1-1、第二MEMS谐振器1-2与弹性连接梁2之间设置有第一过渡结构6-1、第二过渡结构6-2，用于减少弹性连接梁2对于MEMS谐振器模态振型的影响并抑制振动能量的耗散； 所述第一MEMS谐振器1-1、第二MEMS谐振器1-2的振动模态的等效质量中心位于弹性连接梁2长度方向的轴线上； 所述第一可变功能结构3-1、第二可变功能结构3-2为声阻抗结构或焦耳加热结构； 所述第一可变功能结构3-1和第二可变功能结构3-2为焦耳热加热结构时，采用阵列柔性直梁结构，对称布置于整个MEMS谐振器结构的中心； 所述第一可变功能结构3-1、第二可变功能结构3-2为声阻抗结构时，采用串联声子晶体结构，串联声子晶体结构一端连接在弹性连接梁2中点，串联声子晶体结构另一端连接在第一锚定结构4-1、第二锚定结构4-2上。

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