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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种基于两级声子晶体的多路输出MEMS谐振器及其调频方法与系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119766190B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411831563.5，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权一种基于两级声子晶体的多路输出MEMS谐振器及其调频方法与系统是由韦学勇;王纯;徐宇涛设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于两级声子晶体的多路输出MEMS谐振器及其调频方法与系统在说明书摘要公布了：一种基于两级声子晶体的多路输出MEMS谐振器及其调频方法和系统，多路输出MEMS谐振器包括受固支锚点支撑的谐振结构本体及其功能性附属结构；MEMS谐振器通过两级声子晶体，同时降低了不同频段内模态的锚定损耗，从而实现高频率稳定性的多路频率输出；调频方法和系统利用集成式测温梁、集成式焦耳热加热梁、悬浮均热框架，结合恒温控制电路，可以实现高精度、低成本、低功耗、低热迟滞的调频和恒温控制。

本发明授权一种基于两级声子晶体的多路输出MEMS谐振器及其调频方法与系统在权利要求书中公布了：1.一种基于两级声子晶体的多路输出MEMS谐振器，其特征在于：包括受第一固支锚点5-1、第二固支锚点5-2、第三固支锚点5-3、第四固支锚点5-4、第五固支锚点5-5、第六固支锚点5-6、第七固支锚点5-7、第八固支锚点5-8支撑的MEMS谐振器结构本体1及其功能性附属结构；所述MEMS谐振器结构本体的结构形式为盘式、环式、薄膜式或梁式中的一种； 所述功能性附属结构包括：和MEMS谐振器结构本体1连接的第一级声子晶体A2-1、第一级声子晶体B2-2、第一级声子晶体C2-3、第一级声子晶体D2-4；第一级声子晶体A2-1、第一级声子晶体B2-2、第一级声子晶体C2-3、第一级声子晶体D2-4的另一端分别和第二级声子晶体A3-1、第二级声子晶体B3-2、第二级声子晶体C3-3、第二级声子晶体D3-4连接，第二级声子晶体A3-1、第二级声子晶体B3-2、第二级声子晶体C3-3、第二级声子晶体D3-4另一端连接在悬浮均热框架7内；第一固支锚点5-1、第二固支锚点5-2、第三固支锚点5-3、第四固支锚点5-4、第五固支锚点5-5、第六固支锚点5-6、第七固支锚点5-7、第八固支锚点5-8分别和柔性支撑梁A6-1、柔性支撑梁B6-2、柔性支撑梁C6-3、柔性支撑梁D6-4、柔性支撑梁E6-5、柔性支撑梁F6-6、柔性支撑梁G6-7、柔性支撑梁H6-8连接；其中柔性支撑梁C6-3、柔性支撑梁D6-4、柔性支撑梁G6-7、柔性支撑梁H6-8为测温梁；柔性支撑梁A6-1、柔性支撑梁B6-2、柔性支撑梁E6-5、柔性支撑梁F6-6为焦耳热加热梁； 所有柔性支撑梁和悬浮均热框架7连接；所述柔性支撑梁的结构形式为折叠梁、蛇形梁或直梁中的一种； 所述的MEMS谐振器结构本体1与第一级声子晶体A2-1、第一级声子晶体B2-2、第一级声子晶体C2-3、第一级声子晶体D2-4以及第二级声子晶体A3-1、第二级声子晶体B3-2、第二级声子晶体C3-3、第二级声子晶体D3-4共同锚定在悬浮均热框架7中，悬浮均热框架7通过柔性支撑梁A6-1、柔性支撑梁B6-2、柔性支撑梁C6-3、柔性支撑梁D6-4、柔性支撑梁E6-5、柔性支撑梁F6-6、柔性支撑梁G6-7、柔性支撑梁H6-8和第一固支锚点5-1、第二固支锚点5-2、第三固支锚点5-3、第四固支锚点5-4、第五固支锚点5-5、第六固支锚点5-6、第七固支锚点5-7、第八固支锚点5-8锚定在衬底上； 所述MEMS谐振器结构本体1、声子晶体、悬浮均热框架7、柔性支撑梁均悬空于结构衬底上。

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