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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器及其恒温控制系统与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119766191B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411831565.4，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器及其恒温控制系统与方法是由韦学勇;王纯;徐宇涛设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器及其恒温控制系统与方法在说明书摘要公布了：一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器及其恒温控制系统与方法，高Q值MEMS谐振器为盘式对称结构，工作模态为lame模态，包括第六固支锚点，第六固支锚点的左右两侧经锚定梁和一个传热框连接，传热框内经连接梁连接谐振器本体，谐振器本体悬浮在传热框中；第六固支锚点的上下两侧经微电阻梁和第五固支锚点、第七固支锚点连接；MEMS谐振器采用悬架式设计，并采用剪切模态；本发明MEMS谐振器采用悬架式设计，并采用剪切模态，以频率误差作为判断标志，主动控制焦耳热模块的加热效率，维持MEMS谐振器的温度恒定，实现高精度、低功耗、低成本的温度补偿，提高了谐振器的机电耦合系数，降低了加工残余应力，减小了谐振器的热弹性损耗，综合提高了谐振器的Q值。

本发明授权一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器及其恒温控制系统与方法在权利要求书中公布了：1.一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器，其特征在于：为盘式对称结构，工作模态为lame模态，包括第六固支锚点2-6，第六固支锚点2-6的左右两侧分别通过第一锚定梁2-1、第二锚定梁2-7和第一传热框1-12、第二传热框3-13连接；第一传热框1-12内经第一连接梁1-1、第二连接梁1-5、第三连接梁1-8、第四连接梁1-11连接第一谐振器本体1-4，第一谐振器本体1-4悬浮在第一传热框1-12中；第二传热框3-13内经第五连接梁3-3、第六连接梁3-6、第七连接梁3-9、第八连接梁3-14连接第二谐振器本体3-10，第二谐振器本体3-10悬浮在第二传热框3-13中；第六固支锚点2-6的上下两侧分别通过第一微电阻梁2-4、第二微电阻梁2-10和第五固支锚点2-3、第七固支锚点2-9连接； 所述的第一连接梁1-1、第二连接梁1-5、第三连接梁1-8、第四连接梁1-11之间分别设有第一固支锚点1-3、第二固支锚点1-6、第三固支锚点1-9、第四固支锚点1-14，第一固支锚点1-3、第二固支锚点1-6、第三固支锚点1-9、第四固支锚点1-14上分别设有第一金属电极层1-2、第二金属电极层1-7、第三金属电极层1-10、第四金属电极层1-13；第五连接梁3-3、第六连接梁3-6、第七连接梁3-9、第八连接梁3-14之间分别设有第八固支锚点3-1、第九固支锚点3-4、第十固支锚点3-7、第十一固支锚点3-12，第八固支锚点3-1、第九固支锚点3-4、第十固支锚点3-7、第十一固支锚点3-12上分别设有第八金属电极层3-2、第九金属电极层3-5、第十金属电极层3-8、第十一金属电极层3-11；第五固支锚点2-3、第六固支锚点2-6、第七固支锚点2-9上分别设有第五金属电极层2-2、第六金属电极层2-5、第七金属电极层2-8； 所述的第一谐振器本体1-4、第二谐振器本体3-10为方形盘式，第一固支锚点1-3、第一金属电极层1-2、第二固支锚点1-6、第二金属电极层1-7、第三固支锚点1-9、第三金属电极层1-10、第四固支锚点1-14、第四金属电极层1-13与第一谐振器本体1-4形成3μm的间距；第八固支锚点3-1、第八金属电极层3-2、第九固支锚点3-4、第九金属电极层3-5、第十固支锚点3-7、第十金属电极层3-8、第十一固支锚点3-12、第十一金属电极层3-11与第二谐振器本体3-10形成3μm的间距；构成了平行板电容，通过平行板电容对谐振器进行激励、检测。

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