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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利循环液供给装置及其液位调控方法、温控系统、集成电路工艺制程系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119828609B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411746644.5，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权循环液供给装置及其液位调控方法、温控系统、集成电路工艺制程系统是由冯涛;董春辉;孙硕;崔岳强;刘紫阳;王晓波;鲁元进;何茂栋;芮守祯;曹小康设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本循环液供给装置及其液位调控方法、温控系统、集成电路工艺制程系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种循环液供给装置及其液位调控方法、温控系统、集成电路工艺制程系统。该循环液供给装置包括液箱、补液调节阀、主路电磁阀、控制装置以及至少两个液位检测器。液箱设置有第一进液口与出液口。该液箱用于盛放循环液。出液口连接外部系统，以将循环液从液箱内排至外部系统。液位检测器根据不同的预设高度依次设置在液箱内，检测液箱内的循环液的液位输出液位信号。补液调节阀的一端与第一进液口连通。主路电磁阀设置在液箱外，主路电磁阀的一端与补液调节阀的另一端连通，主路电磁阀的另一端与外部供液系统连通，以接收外部供液系统输送的循环液。控制装置根据液位信号，控制补液调节阀以及主路电磁阀的开闭状态，以调节液箱的液位。

本发明授权循环液供给装置及其液位调控方法、温控系统、集成电路工艺制程系统在权利要求书中公布了：1.一种应用在温控系统的循环液供给装置，其特征在于，所述循环液供给装置包括： 液箱，设置有第一进液口、第二进液口与出液口，盛放循环液，所述出液口连接外部系统，以将所述循环液从所述液箱内排至所述外部系统； 至少两个液位检测器，根据不同的预设高度依次设置在所述液箱内，检测所述液箱内的所述循环液的液位，输出液位信号； 补液调节阀，设置在所述液箱外，所述补液调节阀的一端与所述第一进液口连通； 主路电磁阀，设置在所述液箱外，所述主路电磁阀的一端与所述补液调节阀的另一端连通，所述主路电磁阀的另一端与外部供液系统连通，以接收所述外部供液系统输送的循环液； 控制装置，与所述至少两个液位检测器、所述补液调节阀以及所述主路电磁阀电连接，根据所述液位信号，控制所述补液调节阀以及所述主路电磁阀的开闭状态，以调节所述液箱的液位； 备用电磁阀，设置在所述液箱外，所述备用电磁阀的一端与所述第二进液口连通，所述备用电磁阀的另一端与所述主路电磁阀的一端连通； 所述控制装置还与所述备用电磁阀电连接，根据所述至少两个液位检测器输出的液位信号，控制所述补液调节阀、所述主路电磁阀以及所述备用电磁阀的开闭状态，以调节所述液箱的液位； 所述至少两个液位检测器包括： 第一液位检测器，位于所述液箱的第一预设高度，在所述循环液的液位高于所述第一预设高度的情况下，所述第一液位检测器生成第一高液位信号，在所述循环液的液位低于所述第一预设高度的情况下，所述第一液位检测器生成第一低液位信号； 第二液位检测器，位于所述液箱的第二预设高度，在所述循环液的液位高于所述第二预设高度的情况下，所述第二液位检测器生成第二高液位信号，在所述循环液的液位低于所述第二预设高度位置的情况下，所述第二液位检测器生成第二低液位信号； 第三液位检测器，位于所述液箱的第三预设高度，在所述循环液的液位高于所述第三预设高度的情况下，所述第三液位检测器生成第三高液位信号，在所述循环液的液位低于所述第三预设高度的情况下，所述第三液位检测器生成第三低液位信号； 所述控制装置根据接收到的所述第一液位检测器、所述第二液位检测器以及所述第三液位检测器所生成的液位信号，控制所述补液调节阀、所述主路电磁阀以及所述备用电磁阀的开闭状态，以调节所述液箱的循环液的液位； 其中，所述第一预设高度低于所述第二预设高度低于所述第三预设高度； 第四液位检测器，位于所述液箱的第四预设高度，在所述循环液的液位高于所述第四预设高度的情况下，所述第四液位检测器生成第四高液位信号，在所述循环液的液位低于所述第四预设高度的情况下，所述第四液位检测器生成第四低液位信号； 第五液位检测器，位于所述液箱的第五预设高度，在所述循环液的液位高于所述第五预设高度的情况下，所述第五液位检测器生成第五高液位信号，在所述循环液的液位低于所述第五预设高度的情况下，所述第五液位检测器生成第五低液位信号； 所述控制装置根据接收到的所述第一液位检测器、所述第二液位检测器、所述第三液位检测器、所述第四液位检测器以及所述第五液位检测器所生成的液位信号，控制所述补液调节阀、所述主路电磁阀以及所述备用电磁阀的开闭状态，以调节所述液箱的循环液的液位； 其中，所述第四预设高度低于所述第一预设高度低于所述第二预设高度低于所述第三预设高度低于所述第五预设高度； 所述控制装置在接收到的液位信号满足第三预设条件的情况下，控制所述主路电磁阀开启； 所述控制装置根据所述循环液供给装置的出口流量值，确定当前开度区间； 所述控制装置将所述当前开度区间中的最大开度值确定为当前开度值； 所述控制装置控制所述补液调节阀的开度为所述当前开度值； 在接收到的液位信号满足第三预设条件的情况下，所述控制装置判断持续时长是否达到预设时长，其中，所述持续时长为控制装置接收到第一高液位信号的时长； 所述控制装置在所述持续时长达到预设时长的情况下，控制所述备用电磁阀关闭； 所述控制装置在所述持续时长未达到预设时长的情况下，控制所述备用电磁阀开启； 其中，所述第三预设条件包括： 所述控制装置接收到所述第四高液位信号、所述第一高液位信号、所述第二低液位信号、所述第三低液位信号以及所述第五低液位信号。

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