无锡影速半导体科技有限公司窦志前获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种背面对准的方法、装置、激光直写曝光设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119832036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411905742.9,技术领域涉及:G06T7/33;该发明授权一种背面对准的方法、装置、激光直写曝光设备及介质是由窦志前;陈海巍;吴长江;李振杰设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种背面对准的方法、装置、激光直写曝光设备及介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种背面对准的方法、装置、激光直写曝光设备及介质,该方法包括:获取背面相机采集的标定板中各角点的第一像素坐标,形成第一像素坐标集合;获取正面相机采集的各所述第一像素坐标对应的各所述角点的第二像素坐标,形成第二像素坐标集合;基于第一像素坐标集合和第二像素坐标集合确定各角点的正面相机相对背面相机的相对像素坐标集合;基于相对像素坐标集合中各相对像素坐标的分布特性对相对像素坐标进行筛选,获得筛选相对像素坐标集合;根据筛选相对像素坐标集合中各相对像素坐标确定正面相机的原点坐标在背面坐标系中的坐标。利用该方法:解决了靶标图片的采集误差和对准相机移动过程中带来的误差。
本发明授权一种背面对准的方法、装置、激光直写曝光设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种背面对准的方法,其特征在于,包括: 获取背面相机采集的标定板中各角点的第一像素坐标,形成第一像素坐标集合; 获取正面相机采集的各所述第一像素坐标对应的各所述角点的第二像素坐标,形成第二像素坐标集合;所述第一像素坐标和所述第二像素坐标为相对于预设的背面坐标系的坐标; 基于所述第一像素坐标集合和所述第二像素坐标集合确定各角点的所述正面相机相对所述背面相机的相对像素坐标集合; 基于所述相对像素坐标集合中各相对像素坐标的分布特性对所述相对像素坐标进行筛选,获得筛选相对像素坐标集合; 根据所述筛选相对像素坐标集合中各相对像素坐标确定所述正面相机的原点坐标在背面坐标系中的坐标。
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