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南京大学张超获国家专利权

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龙图腾网获悉南京大学申请的专利基于倾斜畴结构的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件及其设计方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119853635B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411910968.8,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权基于倾斜畴结构的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件及其设计方法是由张超;朱淼;秦亦强;李嘉玲;汪称龙;姚依正;严思琴;赵振宇;孙旭辉;付佳鑫;雷潇设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

基于倾斜畴结构的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件及其设计方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于倾斜畴结构的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件及其设计方法,该体声波器件包括由上而下依次叠加的上表面电极、铌酸锂声学超晶格和下表面电极,其中,所述铌酸锂声学超晶格包括交替排列的正畴区和负畴区,正畴区和负畴区均为倾斜畴。本发明还提供了上述体声波谐振器件的设计方法,首先通过数值模拟获取仿真参数,然后根据仿真参数设计具有周期交替排列倾斜结构的正畴区和负畴区的不同切型的铌酸锂声学超晶格,最后在铌酸锂声学超晶格上表面和下表面分别选择合适的电极,形成体声波谐振器件。本发明结构简单,实现了更多工作谐振模式和更高机电耦合系数的体声波谐振器件。

本发明授权基于倾斜畴结构的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件及其设计方法在权利要求书中公布了:1.一种基于倾斜畴结构的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件的设计方法,其特征在于,所述铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件包括由上而下依次叠加的上表面电极、铌酸锂声学超晶格和下表面电极,其中,所述铌酸锂声学超晶格包括交替排列的正畴区和负畴区,正畴区压电系数为正,负畴区压电系数为负,正畴区和负畴区均为倾斜畴,所述方法包括: 步骤1、获取能够实现目标性能的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件仿真参数,包括铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件的物理尺寸参数和铌酸锂声学超晶格的倾斜角θ及铁电畴分布周期T; 步骤2、根据步骤1的仿真参数,选择对应切型的铌酸锂基片; 步骤3、根据倾斜角度θ计算铌酸锂的矫顽场大小为: , 式中,倾斜角度为θ时铌酸锂的矫顽场,表示倾斜角度为时铌酸锂的矫顽场; 步骤4、按照铁电畴分布周期T、所述仿真参数中铌酸锂的厚度H和倾斜角度为θ时铌酸锂的矫顽场选择使铌酸锂基片成为铌酸锂声学超晶格的极化方法; 步骤5、在铌酸锂声学超晶格上下表面分别选择满足所述仿真参数中的电极材料,分别制成上表面电极和下表面电极; 步骤1具体包括: 步骤1.1、设置铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件初步的仿真参数,包括铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件的物理尺寸参数和铌酸锂声学超晶格的铁电畴分布周期T; 步骤1.2、采用Z-X-Z旋转方式的欧拉角变换α,β,γ将Z切铌酸锂的材料坐标系转换为角度为θ的ZX切型铌酸锂的材料坐标系,其中正畴区域变换的欧拉角为0°,θ+90°,0°,负畴区域变换的欧拉角为0°,θ-90°,0°; 步骤1.3、在仿真软件中建立铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件的几何模型,设置所述几何模型的物理尺寸参数为所述仿真参数的物理尺寸参数,设置几何模型中铌酸锂声学超晶格的铁电畴分布周期为所述仿真参数中的T,并对几何模型进行网格划分; 步骤1.4、基于网格划分后的几何模型进行频域计算,根据频域计算结果绘制导纳曲线和振型图,并计算机电耦合系数、谐振频率; 步骤1.5、判断机电耦合系数是否高于阈值,谐振频率是否在谐振频率区间范围内,寄生模态是否被抑制;若全部判断结果为是,则输出此时的仿真参数;否则重新调整仿真参数,并返回执行步骤1.2。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京大学,其通讯地址为:210008 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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