北京大学韩梦迪获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利柔性触觉传感器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120043665B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311582071.2,技术领域涉及:G01L1/22;该发明授权柔性触觉传感器及其制造方法是由韩梦迪;徐晨;王毅然设计研发完成,并于2023-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本柔性触觉传感器及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及柔性触觉传感器及其制造方法。第一种柔性触觉传感器包括柔性衬底、温度传感层、绝缘层、应力层、下结构层、应变片层、导线层、上结构层和封装层;上结构层、下结构层包裹导线层和应变片层,形成四层结构;应力层位于下结构层下方或上结构层上方,带动四层结构卷曲形成三维结构;封装层包裹平面结构和三维结构并连接到柔性衬底上。第二种柔性触觉传感器中,上结构层、下结构层包裹行选导线层、绝缘层、应变片层、列选导线层,形成六层结构,应力层带动所述六层结构卷曲形成三维结构。本发明与现有的微电子加工工艺完全兼容,允许低成本、批量化并行生产,实现了空间密度以及阵列形状可以按需定制的柔性触觉传感器。
本发明授权柔性触觉传感器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种柔性触觉传感器,其特征在于,包括柔性衬底、温度传感层、绝缘层、应力层、下结构层、应变片层、导线层、上结构层和封装层;其中柔性衬底、温度传感层、绝缘层从下至上依次排列,下结构层、应变片层、导线层、上结构层从下至上依次排列;上结构层、下结构层包裹导线层和应变片层,形成四层结构;应力层位于下结构层下方或上结构层上方,在腐蚀掉牺牲层后,应力层由于内部存在本征应力而产生卷曲,带动四层结构产生卷曲,形成三维结构;柔性衬底、温度传感层和绝缘层为平面结构,位于所述三维结构的正下方;封装层包裹所述平面结构和所述三维结构,并连接到柔性衬底上。
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