西安电子科技大学;陕西君普新航科技有限公司宋秀峰获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学;陕西君普新航科技有限公司申请的专利一种基于再生长P-GaN的高耐压低漏电GaN SBD获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120111903B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510284959.0,技术领域涉及:H10D8/60;该发明授权一种基于再生长P-GaN的高耐压低漏电GaN SBD是由宋秀峰;于恒懿;赵胜雷;孙雪晶;王中旭;张嘎;张进成;郝跃设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于再生长P-GaN的高耐压低漏电GaN SBD在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于再生长P‑GaN的高耐压低漏电GaNSBD,属于半导体技术领域,包括衬底,设置于所述衬底上方的成核层;设置于成核层上方的缓冲层;设置于缓冲层上方的重掺杂层,设置于重掺杂层上方的阴极;设置于重掺杂上方设置有漂移层,所述漂移层位于阴极之间;所述漂移层的顶端设置有阳极,所述阳极的外圈设置有金属场限环;所述阳极、金属场限环、漂移层之间设置有P‑GaN区,所述P‑GaN区包括阳极下凹槽、内部P‑GaN区、侧壁P‑GaN区。本发明采用上述的一种基于再生长P‑GaN的高耐压低漏电GaNSBD,有效缓解侧壁漏电和阳极边缘峰值电场,使电场平坦化,提高器件可靠性。
本发明授权一种基于再生长P-GaN的高耐压低漏电GaN SBD在权利要求书中公布了:1.一种基于再生长P-GaN的高耐压低漏电GaNSBD,其特征在于,包括第一区域,所述第一区域上设置有漂移层; 所述漂移层的顶端设置有阳极,所述阳极的外圈设置有金属场限环; 所述阳极、金属场限环、漂移层之间设置有P-GaN区,所述P-GaN区包括阳极下凹槽、内部P-GaN区、侧壁P-GaN区; 所述阳极下凹槽设置于漂移层上,所述内部P-GaN区位于漂移层内部,所述漂移层的外侧设置有侧壁P-GaN区,所述侧壁P-GaN区的一端位于阳极下凹槽、金属场限环之间,且侧壁P-GaN区的一端还与阳极连接,所述侧壁P-GaN区的另一端与重掺杂层连接。
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