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泰州海天电子科技股份有限公司陈合获国家专利权

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龙图腾网获悉泰州海天电子科技股份有限公司申请的专利一种具有定位纠正功能的晶圆用切割设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120244272B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510294989.X,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权一种具有定位纠正功能的晶圆用切割设备及方法是由陈合;朱虹;刘航设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种具有定位纠正功能的晶圆用切割设备及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有定位纠正功能的晶圆用切割设备及方法,该切割设备包括箱体、控制面板、夹持机构、搬运机构、切割机构和料框,夹持机构包括底台、收缩机构和纠正盘,搬运机构包括横移模组和伺服气缸,切割机构包括三轴位移模组、间歇机构和回转电机,控制面板、底台、横移模组、三轴位移模组、料框均与箱体固定连接,收缩机构、纠正盘均与底台固定连接,收缩机构包括第一电机,间歇机构包括伺服电机,第一电机、横移模组、伺服气缸、三轴位移模组、伺服电机、回转电机均与控制面板通过电信号连接;本发明涉及晶圆裁切机技术领域,本发明自动化上料定位纠正夹持晶圆,对晶圆多次间隔裁切,减小因切割应力造成的偏移,提高生产精度和效率。

本发明授权一种具有定位纠正功能的晶圆用切割设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种具有定位纠正功能的晶圆用切割设备,其特征在于:所述切割设备包括箱体1、控制面板2、夹持机构3、搬运机构4、切割机构5和料框6,所述夹持机构3包括底台31、收缩机构35和纠正盘36,所述搬运机构4包括横移模组41和伺服气缸43,所述切割机构5包括三轴位移模组51、间歇机构55和回转电机56,所述控制面板2、底台31、横移模组41、三轴位移模组51、料框6均与箱体1固定连接,所述收缩机构35、纠正盘36均与底台31固定连接,所述收缩机构35包括第一电机354,所述间歇机构55包括伺服电机556,所述第一电机354、横移模组41、伺服气缸43、三轴位移模组51、伺服电机556、回转电机56均与控制面板2通过电信号连接; 所述夹持机构3还包括滑台32、压缩弹簧33和吸附盘34,所述底台31上设有滑轨311,所述滑台32与滑轨311滑动连接,所述压缩弹簧33与滑台32、滑轨311均固定连接,所述吸附盘34与滑台32转动连接,所述收缩机构35还包括环型台351,所述纠正盘36包括支架361,所述环型台351、支架361均与底台31固定连接; 所述收缩机构35还包括齿条352、齿柱353、内齿副环355、装配架356和定位盘357,所述环型台351上设有直线槽3511和内环槽3512,所述直线槽3511、齿条352、齿柱353、装配架356、定位盘357均设有两组,所述直线槽3511与滑轨311间夹角为四十五度,所述第一电机354与环型台351固定连接,一组所述齿柱353与第一电机354输出端固定连接,所述齿柱353与齿条352、内齿副环355均齿面啮合,所述齿柱353与内环槽3512转动连接,所述内齿副环355与内环槽3512滑动连接,所述齿条352与直线槽3511滑动连接,所述装配架356与齿条352、定位盘357均固定连接,所述定位盘357上设有直边3571和第一弧边3572,所述直边3571与滑轨311间夹角为九十度,所述第一弧边3572与直边3571相邻; 所述纠正盘36还包括半圆盘362和半圆柱363,所述半圆盘362上设有半圆槽3621和第二弧边3622,所述半圆槽3621、半圆柱363均设有若干组,若干组所述半圆槽3621、半圆柱363均沿第二弧边3622曲线均布,所述半圆柱363与半圆槽3621转动连接,所述半圆柱363上设有边缘柱3631,所述边缘柱3631设有若干组,所述边缘柱3631设于半圆柱363上靠近吸附盘34一侧; 所述切割机构5还包括方板52、激光定位器53和喷水器54,所述三轴位移模组51与回转电机56固定连接,所述回转电机56输出端与方板52固定连接,所述方板52上设有装配孔521,所述装配孔521与激光定位器53固定连接,所述间歇机构55还包括侧板551,所述喷水器54、侧板551均与方板52固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人泰州海天电子科技股份有限公司,其通讯地址为:225300 江苏省泰州市高港区高新技术产业园永丰路17号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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