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广东思沃先进装备有限公司王建勋获国家专利权

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龙图腾网获悉广东思沃先进装备有限公司申请的专利晶圆载移设备及贴膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120300045B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510496606.7,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权晶圆载移设备及贴膜设备是由王建勋;杨善斌;范志平设计研发完成,并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆载移设备及贴膜设备在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆贴胶的技术领域,尤其涉及晶圆载移设备及贴膜设备,晶圆载移设备包括压平组件,设置于座体;翻转组件,包括第一支撑架、转动台、第一驱动模组和第二驱动模组;第一支撑架设置于座体;第一驱动模组设置于座体且与第一支撑架驱动连接;转动台设置于第一支撑架;第二驱动模组设置于第一支撑架且与转动台驱动连接;吸附组件,包括吸附件、支撑板、第三驱动模组和第四驱动模组;支撑板设置于转动台,吸附件设置于转动台;第三驱动模组设置于支撑板且与吸附件驱动连接;第四驱动模组设置于支撑板且与吸附件驱动连接;检测组件位于吸附件的上方。通过本发明的晶圆载移设备可提高晶圆的平整度,还能对晶圆实现精确载移和角度调整。

本发明授权晶圆载移设备及贴膜设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆载移设备,其特征在于,所述晶圆载移设备包括: 座体; 压平组件,所述压平组件设置于所述座体的顶面; 翻转组件,所述翻转组件包括第一支撑架、转动台、第一驱动模组和第二驱动模组;所述第一支撑架设置于所述座体的顶面;所述第一驱动模组设置于所述座体且与所述第一支撑架驱动连接,可驱动所述第一支撑架移动;所述转动台设置于所述第一支撑架;所述第二驱动模组设置于所述第一支撑架且与所述转动台驱动连接,可驱动所述转动台翻转; 吸附组件,所述吸附组件包括吸附件、支撑板、第三驱动模组和第四驱动模组;所述支撑板设置于所述转动台,所述吸附件设置于所述转动台的顶面;所述第三驱动模组设置于所述支撑板且与所述吸附件驱动连接,可驱动所述吸附件转动;所述第四驱动模组设置于所述支撑板且与所述吸附件驱动连接,可驱动所述吸附件升降; 检测组件,所述检测组件位于所述吸附件的上方; 所述第三驱动模组包括电机、主动齿轮、从动齿轮、传动链和多个导向辊;所述电机设置于所述支撑板,所述主动齿轮套设于所述电机的动力输出端且位于所述支撑板的顶面,所述从动齿轮设置于所述支撑板的顶面并位于所述吸附件的底部,各所述导向辊均设置于所述支撑板的顶面并分别位于所述主动齿轮的两侧,所述传动链套设于所述导向辊,且所述传动链分别与所述主动齿轮和所述从动齿轮啮合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东思沃先进装备有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路2号13栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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