江苏特丽亮新材料科技有限公司郑亮获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏特丽亮新材料科技有限公司申请的专利一种聚氨酯抛光垫及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120326519B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510761808.X，技术领域涉及：B24B37/22；该发明授权一种聚氨酯抛光垫及其制备方法是由郑亮;文宏章设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种聚氨酯抛光垫及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明为半导体的化学机械抛光技术领域，提供一种聚氨酯抛光垫及其制备方法。所述聚氨酯抛光垫至少包括抛光层和缓冲层，所述抛光层包括以下重量份的原料：聚氨酯预聚物60~100份、填料1~10份、固化剂10~30份，其中填料为介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯填料。以介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯为填料，将介孔二氧化硅接枝到氧化石墨烯表面，大大提高了氧化石墨烯在聚氨酯预聚物体系中的分散性，以更好的发挥氧化石墨烯的作用。这种填料不仅可以利用氧化石墨烯的热传导性能，而且加入的介孔二氧化硅具有中空的结构，也有利于提高抛光垫的热传导性能。
本发明授权一种聚氨酯抛光垫及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种聚氨酯抛光垫，其特征在于，所述聚氨酯抛光垫至少包括抛光层和缓冲层，所述抛光层包括以下重量份的原料：聚氨酯预聚物60~100份、填料1~10份、固化剂10~30份，其中填料为介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯； 所述介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯填料的制备方法包括如下步骤： 将介孔二氧化硅在乙醇中超声分散5~8min，然后加入硅烷偶联剂，并搅拌6~8h，离心，用乙醇洗涤，真空干燥得到硅烷偶联剂处理后的介孔二氧化硅； 将氧化石墨烯在二甲基甲酰胺溶液中超声分散1~3h，然后加入经过硅烷偶联剂处理后的介孔二氧化硅继续超声2~3h，待超声结束后在100~110℃环境下搅拌3~5h，待搅拌完成后，抽滤，并用乙醇清洗，真空干燥后得到介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯填料。
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