江苏特丽亮新材料科技有限公司郑亮获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏特丽亮新材料科技有限公司申请的专利一种化学机械抛光的抛光垫的抛光层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120326520B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510766245.3,技术领域涉及:B24B37/24;该发明授权一种化学机械抛光的抛光垫的抛光层及其制备方法是由郑亮;徐峥;吴波设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光的抛光垫的抛光层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及化学机械抛光垫技术领域,本发明提供一种化学机械抛光的抛光垫的抛光层及其制备方法,抛光层包括聚氨酯预聚体、固化剂以及功能填料,聚氨酯预聚体、固化剂以及功能填料三者的混合质量比为100:10~25:4~9,其中功能填料包括纳米氧化铝和聚乙二醇接枝改性的金纳米粒子。本发明所述的一种化学机械抛光的抛光垫的抛光层,纳米氧化铝和聚乙二醇接枝改性的金纳米粒子的协同作用,实现了孔隙率与机械性能的精准平衡,在保证抛光层孔隙率高的同时提高了抛光垫的表面强度和硬度,提升抛光层的耐磨性能;在抛光过程中,抛光垫不易产生变形,还提高了抛光垫的抛光去除率。
本发明授权一种化学机械抛光的抛光垫的抛光层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种化学机械抛光的抛光垫的抛光层,其特征在于,所述抛光层包括聚氨酯预聚体、固化剂以及功能填料,所述聚氨酯预聚体、固化剂以及功能填料三者的混合质量比为100:10~25:4~9,其中功能填料包括纳米氧化铝和聚乙二醇接枝改性的金纳米粒子。
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