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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种机器人工位坐标校准方法及系统、存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120395890B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510794136.2，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权一种机器人工位坐标校准方法及系统、存储介质是由赵金磊;李垒磊;姜铁程;冉决千设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种机器人工位坐标校准方法及系统、存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种机器人工位坐标校准方法及系统、存储介质，其中方法步骤包括：步骤S1依据晶圆工位初始极坐标、对准器工位极坐标，令机器人前往晶圆工位取出晶圆，送至对准器；步骤S2对准器检测晶圆偏心量并将晶圆旋转复位，由机器人取出，送回晶圆工位；步骤S3将晶圆偏心量转换为相对于机器人世界坐标系下的晶圆偏心坐标；步骤S4将晶圆工位的初始极坐标转换为机器人世界坐标系下的笛卡尔坐标，并通过晶圆偏心坐标修正，反向示教机器人，籍此在工作环境下，利用同在真空腔室内的晶圆对准器来自动示教机器人，从而解决现有因人工及环境因素所导致的机器人累积误差。

本发明授权一种机器人工位坐标校准方法及系统、存储介质在权利要求书中公布了：1.一种机器人工位坐标校准方法，其步骤包括： 步骤S1依据晶圆工位初始极坐标、对准器工位极坐标，令机器人前往晶圆工位取出晶圆，送至对准器； 步骤S2对准器检测晶圆偏心量并将晶圆旋转复位，由机器人取出，送回晶圆工位； 步骤S3将晶圆偏心量转换为相对于机器人世界坐标系下的晶圆偏心坐标，步骤包括： 读取对准器工位极坐标，，将工位角度参数转换为弧度： 计算晶圆偏心量，相对于对准器坐标系下的晶圆偏心角度，根据将转换到机器人世界坐标系下，获取晶圆偏心角度： 计算晶圆在对准器坐标系下的偏移量；根据及计算相对于机器人世界坐标系下的晶圆偏心坐标，： ； 步骤S4将晶圆工位的初始极坐标转换为机器人世界坐标系下的笛卡尔坐标，并通过晶圆偏心坐标修正，反向示教机器人，步骤包括： 读取晶圆工位初始极坐标，将工位角度参数转换为弧度； 计算； 获取晶圆工位在机器人世界坐标系下的初始笛卡尔坐标，； 根据相对于机器人世界坐标系下的晶圆偏心坐标，，修正晶圆工位的初始坐标，，以获取修正后的晶圆工位坐标,： ； 将修正后的晶圆工位坐标,转换为极坐标，。

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