浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司徐新华获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利基于图像识别的晶圆包装质量识别方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120495637B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510714017.1,技术领域涉及:G06V10/25;该发明授权基于图像识别的晶圆包装质量识别方法及系统是由徐新华设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于图像识别的晶圆包装质量识别方法及系统在说明书摘要公布了:本申请涉及图像识别技术领域,公开了一种基于图像识别的晶圆包装质量识别方法及系统,通过多光谱成像单元采集所述晶圆包装的多光谱图像并进行融合处理得到多光谱融合图像,通过RGB‑D单元采集所述晶圆包装的RGB彩色图像和晶圆包装的深度图像,通过三维重建算法进行融合生成所述晶圆包装的三维图像,再从预处理后的所述三维图像中提取三维点云数据并重建生成三维点云模型,通过所述混合注意力生成网络对所述三维点云模型中的缺陷特征进行检测并输出所述缺陷特征的信息,本申请不仅能够对检测结果进行详细解释,还能输出针对性的缺陷特征分析与处理建议,实现了对晶圆包装质量全面评估的要求,提高了包装质量评估的高效率和准确性。
本发明授权基于图像识别的晶圆包装质量识别方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于图像识别的晶圆包装质量识别方法,其特征在于,所述基于图像识别的晶圆包装质量识别方法包括: 通过多光谱成像单元采集所述晶圆包装的多光谱图像,并对所述多光谱图像进行融合处理得到多光谱融合图像; 通过RGB-D单元采集所述晶圆包装的RGB彩色图像和所述晶圆包装的深度图像; 通过三维重建算法将所述多光谱融合图像、所述RGB彩色图像和所述深度图像进行融合生成所述晶圆包装的三维图像,其包括:通过所述三维重建算法将所述深度图像生成点云表面;将所述多光谱融合图像与所述RGB彩色图像投影至所述点云表面并提取所述多光谱图像的归一化植被指数与所述RGB彩色图像的纹理特征;通过主成分分析降维算法对所述归一化植被指数与所述纹理特征相融合生成降维融合特征数据;通过Phong光照模型对所述点云表面和所述降维融合特征数据进行渲染生成所述晶圆包装的三维图像; 对所述三维图像进行多模态预处理,并从预处理后的所述三维图像中提取三维点云数据并对所述三维点云数据进行表面重建生成三维点云模型; 将所述三维点云模型输入混合注意力生成网络,通过所述混合注意力生成网络对所述三维点云模型中的缺陷特征进行检测并输出所述缺陷特征的信息。
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