上海新微技术研发中心有限公司李胜利获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种双传感器微机电器件及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120534921B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510665881.7，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权一种双传感器微机电器件及其制备方法是由李胜利;乔启峰设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双传感器微机电器件及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种双传感器微机电器件及其制备方法，属于微机电器件技术领域。该双传感器微机电器件包括依次层叠布置的加速度计的金属电极、顶部集成结构、电学隔离层、第一金属键合环和红外探测器；顶部集成结构包括晶圆基体，晶圆基体内设有第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体内分别设有加速度计功能结构和红外探测光栅结构；电学隔离层设置有与第一腔体连通的第一中间腔体，以及与第二腔体连通的第二中间腔体；红外探测器设有凹槽区域和包括感应部件的功能区域，凹槽区域与第一中间腔体连通，功能区域与第二中间腔体连通；加速度计功能结构和红外探测光栅结构所在空间互相隔离。本发明的双传感器微机电器件体积较小。
本发明授权一种双传感器微机电器件及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种双传感器微机电器件，其特征在于，包括依次层叠布置的加速度计的金属电极、顶部集成结构、电学隔离层、第一金属键合环和红外探测器； 所述顶部集成结构包括晶圆基体，所述晶圆基体内设有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体内分别设有加速度计功能结构和红外探测光栅结构； 所述电学隔离层设置有与所述第一腔体连通的第一中间腔体，以及与所述第二腔体连通的第二中间腔体； 所述红外探测器设有凹槽区域和包括感应部件的功能区域，所述凹槽区域与所述第一中间腔体连通，所述功能区域与所述第二中间腔体连通； 所述加速度计功能结构和所述红外探测光栅结构所在空间互相隔离； 所述晶圆基体包括键合的第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆设有所述加速度计功能结构和所述红外探测光栅结构； 所述红外探测器包括第三晶圆和位于所述第三晶圆上方的第二金属键合环，所述第二金属键合环与所述第一金属键合环键合。
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