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苏州鸿安机械股份有限公司刘大庆获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州鸿安机械股份有限公司申请的专利一种晶圆盒装载端口的控制系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120724718B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511202888.1,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权一种晶圆盒装载端口的控制系统及方法是由刘大庆;朱跃;王智;徐丹平;安腾设计研发完成,并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆盒装载端口的控制系统及方法在说明书摘要公布了:本发明属于智能控制技术领域,本发明提供了一种晶圆盒装载端口的控制系统及方法,若吸接面积与下垂距之间的关联较为紧密,则获取关联调整系数,得到吸盘调整数量,并分析多次历史拿取过程中的吸盘分布策略是否合理,若不合理,则依据吸盘调整数量,对吸盘的分布进行调整,构建吸盘分布图,一方面,通过调整吸盘与薄晶圆中心之间的距离,降低边缘吸盘在拿取过程中出现薄晶圆发生倾斜的概率,另一方面,通过调整吸盘在薄晶圆上的周向角度,使得吸盘在薄晶圆上的周向角度分布均匀,避免影响吸盘在拿取薄晶圆过程中的稳定程度,降低在拿取薄晶圆过程中出现与相邻薄晶圆发生碰撞的概率。

本发明授权一种晶圆盒装载端口的控制系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒装载端口的控制方法,其特征在于:包括: 以晶圆盒内部的长度作为Y轴,以晶圆盒内部的宽度作为X轴,以晶圆盒内部的高度作为Z轴,构建晶盒三维模型,并提取晶盒三维模型内的薄晶圆区域,对薄晶圆的分布间距进行分析,得到薄晶间距; 获取每次历史拿取过程中的瞬间下垂距,与对应的薄晶间距进行风险比对,确定比对风险度,若风险度高,则结合每次历史拿取过程中的吸附接触面积进行关联分析,确定吸接面积与下垂距之间的关联度; 比对风险度的确定过程如下: 获取每次历史拿取后薄晶圆实际在晶盒三维模型上的Z轴坐标,并与薄晶圆理论在晶盒三维模型上的Z轴坐标,进行作差取绝对值,并与Z轴长度进行比值计算,得到瞬间下垂距; 将瞬间下垂距与对应的薄晶间距进行比值计算,输出得到比对风险度; 若吸接面积与下垂距之间的关联紧密,则获取关联调整系数,得到吸盘调整数量,并分析历史拿取过程中的吸盘分布策略是否合理; 获取关联调整系数,得到吸盘调整数量,过程如下: 将每组关联分析数据组内的吸附接触面积与比对风险度进行比值计算,输出得到单元关联系数; 将所有单元关联系数进行均值化计算,输出得到关联调整系数; 将比对风险度阈值与关联调整系数进行比值计算,输出得到调整吸接面积量,与当前吸接面积进行求和,输出得到调整吸接面积,并与每个吸盘对应的吸附面积进行比值计算,输出得到吸盘调整数量; 若不合理,则依据吸盘调整数量,对吸盘的分布进行调整,构建吸盘分布图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州鸿安机械股份有限公司,其通讯地址为:215400 江苏省苏州市太仓市太仓经济开发区浏阳路116号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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