东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张生睿获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利版图图形的刻蚀仿真方法、产品及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120724952B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510885558.0，技术领域涉及：G06F30/392；该发明授权版图图形的刻蚀仿真方法、产品及设备是由张生睿;俞宗强;施伟杰;龚炎彬;王航宇;赵丰胜;夏轲;郑杭设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本版图图形的刻蚀仿真方法、产品及设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种版图图形的刻蚀仿真方法、产品及设备。其中上述方法包括：获取目标工艺流程以及目标工艺流程操作的初始版图图形；确定目标工艺流程中的多个刻蚀操作，并获取每一刻蚀操作对应的阶段刻蚀模型；通过阶段刻蚀模型对刻蚀操作进行仿真处理；将阶段刻蚀模型仿真处理的仿真结果输入至最终刻蚀模型，并利用最终刻蚀模型对仿真结果进行拟合得到目标工艺流程对应的最终仿真结果。通过此方法能够根据目标工艺流程建立出对应的复合刻蚀模型，并通过复合刻蚀模型对目标工艺流程进行仿真处理，从而综合考虑目标工艺流程中各个刻蚀操作之间的影响，最终得到准确的仿真结果进行后续的检测。
本发明授权版图图形的刻蚀仿真方法、产品及设备在权利要求书中公布了：1.一种版图图形的刻蚀仿真方法，包括： 获取目标工艺流程以及所述目标工艺流程操作的初始版图图形； 确定所述目标工艺流程中的多个刻蚀操作，并获取每一所述刻蚀操作对应的阶段刻蚀模型； 通过所述阶段刻蚀模型对所述刻蚀操作进行仿真处理； 将所述阶段刻蚀模型仿真处理的仿真结果输入至最终刻蚀模型，并利用所述最终刻蚀模型对所述仿真结果进行拟合得到所述目标工艺流程对应的最终仿真结果。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励