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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种多区域原位在线检测方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120727596B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511148896.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种多区域原位在线检测方法及其装置是由张黎明;刘新阳;邢陈陈;宣光濮;赵静辉;孙奕设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多区域原位在线检测方法及其装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种多区域原位在线检测方法及其装置，多区域原位在线检测方法包括：外延工艺前，将多个探头与外延生长设备内的托盘相对设置；外延工艺过程中，采用多个所述探头获取所述托盘上晶圆表面的反射信号和红外辐射信号；将反射信号和红外辐射信号进行实时处理，得到实时变化的反射率曲线和温度曲线；外延工艺完成后，根据反射率曲线和温度曲线，判断外延生长设备中晶圆外延层生长状态。本发明采用多探头的设置获取晶圆表面多区域的反射信号和温度信号并得到反射率曲线和温度曲线，提高了对外延生长设备中晶圆外延层整体检测的准确性，有效降低单一区域检测的良率问题，提升了外延生长工艺过程的可靠性。

本发明授权一种多区域原位在线检测方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种多区域原位在线检测方法，用于半导体外延生长工艺的外延层生长过程检测及生长状态判断，其特征在于，包括： 外延工艺前，将多个探头与外延生长设备内的托盘相对设置； 外延工艺过程中，采用多个所述探头获取所述托盘上晶圆表面的反射信号和红外辐射信号； 将所述反射信号和红外辐射信号进行实时处理，得到实时变化的反射率曲线和温度曲线； 外延工艺完成后，根据所述反射率曲线和温度曲线，判断所述外延生长设备中晶圆外延层生长状态； 所述根据所述反射率曲线和温度曲线，判断所述外延生长设备中晶圆外延层生长状态，包括： 当Rrange≤a*Raverage，判断所述反射率曲线整体运行趋势平稳； 当Trange≤b*Taverage，判断所述温度曲线整体运行趋势平稳； 其中，Rrange表示反射率极差，Raverage表示反射率均值，a代表比例系数； Trange表示温度极差，Taverage表示温度均值，b代表比例系数； 若所述反射率曲线和所述温度曲线的整体运行趋势均平稳，则初步判断晶圆外延层的生长状态为正常，否则为异常； 当初步判断晶圆外延层的生长状态为正常之后，将所述温度曲线中采集到的温度值与所述外延生长设备所设定的温度值进行差值计算,得到温度差值； 若所述温度差值处于预设温度阈值范围时，则最终判断晶圆外延层生长状态为正常，否则为异常； 所述将多个探头与外延生长设备内的托盘相对设置，还包括： 当所述托盘为普通型托盘时，若干所述普通型托盘固定于石墨盘上，所述普通型托盘环形间隔设置，且均与所述石墨盘中心等间距； 当所述托盘为行星式转盘时，所述行星式转盘在石墨盘上进行自转，若干所述行星式转盘环形间隔设置，且均与所述石墨盘中心等间距，每个所述行星式转盘上具有多个承载晶圆区域； 当所述托盘为普通型托盘时，将一个所述普通型托盘上的晶圆中心与石墨盘中心连线并向背离石墨盘的外侧延伸形成一条直线，在所述直线上选择晶圆中心两侧的点及中心点进行多区域检测，所述晶圆中心及所述晶圆中心两侧的点上方均对应设置至少一个所述探头； 当所述托盘为行星式转盘时，将一个所述行星式转盘上的多个承载晶圆区域中心上方均至少设有一个所述探头。

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