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龙图腾网获悉北京电子量检测装备有限责任公司申请的专利一种基于共聚焦技术的3D形貌特征测量方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120747114B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511262791.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于共聚焦技术的3D形貌特征测量方法及装置是由赵文秀;张莲莲;林涛设计研发完成，并于2025-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于共聚焦技术的3D形貌特征测量方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于共聚焦技术的3D形貌特征测量方法及装置，该方法包括：利用共聚焦3D线扫相机逐行扫描获取高分辨率3D高度数据后，先通过第一对应关系将其转为2D灰度图像，再利用灰度差异自适应阈值分割得到精准二值掩膜；随后提取掩膜中的像元边缘并反向映射回3D空间，形成覆盖整个像元的密集三维数据点集；最终基于所有数据点计算其实际高度，通过本方案能够准确识别所有凸起轮廓，减小了测量误差，实现高速、无接触、高精度的半导体像元高度检测。

本发明授权一种基于共聚焦技术的3D形貌特征测量方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于共聚焦技术的3D形貌特征测量方法，其特征在于，包括： 获取通过配备有共聚焦镜头的3D线扫相机对半导体芯片的像元区域进行逐行扫描，所采集到的3D高度数据，对所述3D高度数据进行预处理，得到预处理后的3D高度数据，所述预处理包括去噪处理、对比度增强处理以及图像平滑化处理； 根据所述预处理后的3D高度数据和预先建立的第一对应关系，将所述3D高度数据转换为2D灰度图像，所述第一对应关系为不同的3D高度数据和对应的2D灰度图像之间的映射关系； 根据所述2D灰度图像的灰度值差异，对所述2D灰度图像中的像元区域和背景区域进行分割，生成二值掩膜； 从所述二值掩膜中提取像元边缘，并基于所述像元边缘，将所述像元边缘对应的像元映射回3D数据空间进行3D重建，得到所述像元在3D数据空间对应的多个数据点，每个所述数据点表征了一个像素点的三维坐标点； 根据所有数据点，计算所述像元的实际高度； 所述第一对应关系是通过以下方式建立的： 对所述预处理后的3D高度数据进行零值判断，得到所述预处理后的3D高度数据中的非零的高度数据； 计算所述非零的高度数据的均值和标准差，并根据所述非零的高度数据的均值和标准差，计算所述非零的高度数据中每个数据点的Z分数； 移除所述非零的高度数据中Z分数大于阈值分数的高度值对应的数据点，得到移除异常值后的清洁数据； 根据移除异常值后的清洁数据的统计特性动态确定映射的灰度范围； 采用线性映射策略，基于所述灰度范围将所述移除异常值后的清洁数据转换成2D灰度值； 基于所述3D高度数据中各个数据点对应的高度值，预处理后的高度数据中的最小高度值以及所述3D高度数据中各个数据点对应的2D灰度值，建立第一对应关系。

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