西安聚能超导磁体科技股份有限公司葛正福获国家专利权
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龙图腾网获悉西安聚能超导磁体科技股份有限公司申请的专利一种大尺寸磁控直拉单晶硅用超导磁体的磁场切换系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120748882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511255832.2,技术领域涉及:H01F6/06;该发明授权一种大尺寸磁控直拉单晶硅用超导磁体的磁场切换系统是由葛正福;王建斌;韩志晨;张弛;司周;范世友;刘伟;李超设计研发完成,并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸磁控直拉单晶硅用超导磁体的磁场切换系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种大尺寸磁控直拉单晶硅用超导磁体的磁场切换系统,涉及超导磁体磁控直拉单晶技术领域,包括:磁屏蔽真空腔、螺线管CUSP超导线圈、鞍型超导线圈、第一高温超导电流引线、第二高温超导电流引线、铜端子电流引线、第一超导开关、第二超导开关、第三超导开关、第四超导开关、超导电源、可编程控制器。本申请通过在结合螺线管CUSP超导线圈和鞍型超导线圈构建复合的超导磁体线圈结构的基础上,构建超导开关与超导磁体线圈的电路连接结构,在保证多磁场切换灵活性的同时,强化了系统可靠性,适配300mm450mm硅片制备对磁场动态调控的需求。
本发明授权一种大尺寸磁控直拉单晶硅用超导磁体的磁场切换系统在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸磁控直拉单晶硅用超导磁体的磁场切换系统,其特征在于,包括:磁屏蔽真空腔、螺线管CUSP超导线圈、鞍型超导线圈、第一高温超导电流引线、第二高温超导电流引线、铜端子电流引线、第一超导开关、第二超导开关、第三超导开关、第四超导开关、超导电源、可编程控制器; 所述磁屏蔽真空腔为同心圆筒; 所述螺线管CUSP超导线圈包括螺线管CUSP第一超导线圈和螺线管CUSP第二超导线圈,为两个上下对称分布的环形螺线管CUSP线圈,所述螺线管CUSP超导线圈固定设置在所述磁屏蔽真空腔的内部; 所述鞍型超导线圈包括鞍型第一超导线圈和鞍型第二超导线圈,为两个左右对称分布的马鞍圆弧型线圈,所述鞍型超导线圈固定设置在所述磁屏蔽真空腔的内部且位于所述螺线管CUSP第一超导线圈与所述螺线管CUSP第二超导线圈之间; 所述第一高温超导电流引线的一端分别连接所述第一超导开关、所述第三超导开关,并通过所述第一超导开关连接所述螺线管CUSP第一超导线圈的出线,通过所述第三超导开关连接所述鞍型第一超导线圈的出线;所述第一高温超导电流引线的另一端连接铜端子电流引线正极; 所述第二高温超导电流引线的一端分别连接所述螺线管CUSP第二超导线圈的出线和所述鞍型第二超导线圈的进线;所述第二高温超导电流引线的另一端连接铜端子电流引线负极; 所述第二超导开关的两端分别连接所述螺线管CUSP第一超导线圈的出线和所述螺线管CUSP第二超导线圈的出线; 所述第四超导开关的两端分别连接所述鞍型第一超导线圈的出线和所述鞍型第二超导线圈的进线; 所述螺线管CUSP第一超导线圈的进线与所述螺线管CUSP第二超导线圈的进线连接,即所述螺线管CUSP第一超导线圈与所述螺线管CUSP第二超导线圈电气反向串联; 所述鞍型第一超导线圈的进线与所述鞍型第二超导线圈的出线连接,即所述鞍型第一超导线圈与所述鞍型第二超导线圈电气正向串联; 所述超导电源分别连接铜端子电流引线正极和铜端子电流引线负极; 所述可编程控制器与所述超导电源通信连接和或电连接; 所述第一超导开关设置有第一超导开关加热器; 所述第二超导开关设置有第二超导开关加热器; 所述第三超导开关设置第三超导开关加热器; 所述第四超导开关设置有第四超导开关加热器; 还包括:制冷机、导冷铜板; 所述制冷机固定设置在所述磁屏蔽真空腔的顶部,所述制冷机的二级冷头连接所述导冷铜板,所述导冷铜板通过软连接铜带连接所述螺线管CUSP超导线圈、所述鞍型超导线圈; 所述第一超导开关、所述第二超导开关、所述第三超导开关、所述第四超导开关均固定设置在所述导冷铜板上。
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