北京和崎精密科技有限公司王金池获国家专利权
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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种用于晶圆转移的抓取装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120749073B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511255193.X,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种用于晶圆转移的抓取装置是由王金池;王振强;郑瑜谦设计研发完成,并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆转移的抓取装置在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体加工技术领域,本发明提供了一种用于晶圆转移的抓取装置,其包括相对设置的第一抓取组件和第二抓取组件,以及用于连接第一抓取组件和第二抓取组件的连接组件:第一抓取组件和第二抓取组件中至少一者能够沿连接组件移动,以在抓取状态和释放状态之间转换;第一抓取组件包括第一柔性贴合部,第二抓取组件包括第二柔性贴合部,第一柔性贴合部和第二柔性贴合部均为柔性带材,第一柔性贴合部和第二柔性贴合部在抓取状态下能够分别包覆晶圆相背的两侧的侧壁以抓取晶圆。通过上述技术方案,解决了相关技术中晶圆转移的柔性自适应末端执行器结构复杂导致的组装和维护难度大的技术问题。
本发明授权一种用于晶圆转移的抓取装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆转移的抓取装置,其特征在于,包括相对设置的第一抓取组件10和第二抓取组件20,以及用于连接所述第一抓取组件10和所述第二抓取组件20的连接组件60; 所述第一抓取组件10和所述第二抓取组件20中至少一者能够沿所述连接组件60移动,以在抓取状态和释放状态之间转换; 所述第一抓取组件10包括第一柔性贴合部120,所述第二抓取组件20包括第二柔性贴合部220,所述第一柔性贴合部120和所述第二柔性贴合部220均为柔性带材,所述第一柔性贴合部120和所述第二柔性贴合部220在抓取状态下能够分别包覆晶圆相背的两侧的侧壁以抓取所述晶圆; 所述第二抓取组件20还包括滑动架200,所述滑动架200转动设有两个第二料辊210和对应于两个所述第二料辊210的第二张紧件;所述滑动架200与所述连接组件60可移动地连接;两个所述第二料辊210相互平行,且可转动地安装于所述滑动架200,所述第二柔性贴合部220的两端分别绕设于两个所述第二料辊210;两个所述第二张紧件用于张紧所述第二柔性贴合部220; 所述第二抓取组件20还包括设置在所述滑动架200上的调整组件300,所述调整组件300用于带动所述第二料辊210转动以调整所述第二柔性贴合部220的张紧度; 所述调整组件300包括: 第三料辊310,转动设置在所述滑动架200与所述第二料辊210相背的一侧,所述第二料辊跟随所述第三料辊310同轴转动,所述第三料辊310上绕设有柔性调整带材320; 调整板330,所述调整板330可移动地设置在所述滑动架200上,所述调整板330上设有用于与所述柔性调整带材320接触的调整部331,所述调整板330能够通过所述调整部331拉动所述柔性调整带材320以使所述第三料辊310转动; 线性伸缩件340,所述线性伸缩件340用于驱动所述调整板330滑动。
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