欣强电子(清远)股份有限公司徐志强获国家专利权
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龙图腾网获悉欣强电子(清远)股份有限公司申请的专利一种类载板的MSAP加工工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120751614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511231879.5,技术领域涉及:H05K3/02;该发明授权一种类载板的MSAP加工工艺是由徐志强设计研发完成,并于2025-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种类载板的MSAP加工工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体封装技术领域,涉及一种类载板的MSAP加工工艺,选择铜箔为起始材料,对铜箔表面进行清洁和活化处理,将铜箔浸入特制的棕化药水中,控制反应时间和温度,使铜箔均匀减薄至4μm,从棕化药水中取出铜箔,进行清洗与干燥后,在减薄后的铜箔上均匀涂覆一层光刻胶,使用特定的光掩模对光刻胶进行曝光,再进行显影处理,形成所需的电路图案,在未被光刻胶保护的区域进行电镀,形成导电路径,通过激光的方式去除剩余的光刻胶,使用蚀刻剂去除多余的铜箔,留下电路图案,本发明通过使用棕化药水,来减薄铜箔到约4μm的方法,能够有效替代传统技术制造的18+3μm厚度载体铜箔,从而解决了现有技术中载体铜箔厚、价格高的问题。
本发明授权一种类载板的MSAP加工工艺在权利要求书中公布了:1.一种类载板的MSAP加工工艺,其特征在于,包括以下工艺步骤: 步骤一、材料准备:选择铜箔作为起始材料; 步骤二、表面处理:对铜箔表面进行清洁和活化处理; 步骤三、棕化药水处理:将铜箔浸入特制的棕化药水中,控制反应时间和温度,使铜箔均匀减薄至4μm; 步骤四、清洗与干燥:从棕化药水中取出铜箔,进行清洗后,在烘箱中进行干燥; 步骤五、光刻胶涂覆:在减薄后的铜箔上均匀涂覆一层光刻胶; 步骤六、曝光与显影:使用特定的光掩模对光刻胶进行曝光,再进行显影处理,形成所需的电路图案; 步骤七、电镀:在未被光刻胶保护的区域进行电镀,形成导电路径; 步骤八、去除光刻胶:通过激光的方式去除剩余的光刻胶; 步骤九、蚀刻:使用蚀刻剂去除多余的铜箔,留下电路图案; 步骤十、清洗与检验:完成蚀刻后,对得到的PCB进行清洗并进行质量检验; 所述棕化药水的成分组成及其配比为:硅烷偶联剂1.12%~1.51%;苯并三唑2.16%~2.22%;双氧水5.20%~6.00%;乙醇酸3.08%~3.34%;硝酸锌1.04%~1.20%;巯基乙酸4.26%~4.66%;2-巯基苯并噻唑0.66%~0.80%;甲基苯三唑0.91%~1.02%;无水硫酸铜5.44%~5.72%;盐酸4.07%~4.52%; 所述特定的光掩模的曝光过程:使用深紫外光掩模在高强度紫外线光源下,将光刻胶曝光时长为5—10s。
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