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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利不等臂独立式真空机械手的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120839802B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511340086.7，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权不等臂独立式真空机械手的控制方法是由朱玉东;李雨晨;王晗设计研发完成，并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本不等臂独立式真空机械手的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种不等臂独立式真空机械手的控制方法，包括：S1：所述真空机械手根据上位机发送的指令并结合示教好的工位位置，来设置对应的控制模式，其中，所述控制模式包括单取单放、多取多放以及交叉取放；S2：根据所选控制模式和所述工位位置，规划得到运动轨迹；S3：通过正向或反向运动学算法，将机械手关节坐标系与电机坐标系进行变换，对所述运动轨迹进位置点解耦；S4：所述真空机械手根据解耦的位置点，按照所述运动轨迹传送晶圆。本发明在晶圆传输过程中，真空机械手支持多种传送方式，包括单机械臂组件取放片、双机械臂组件同时取放片、双机械臂组件交叉取放片，最大程度去提升机械手的传片效率。

本发明授权不等臂独立式真空机械手的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种不等臂独立式真空机械手的控制方法，其特征在于，真空机械手500包括N个机械臂组件510、升降电机、旋转电机、N个伸缩电机，所述升降电机用于驱动所有所述机械臂组件510同步升降，所述旋转电机用于驱动所有所述机械臂组件510同步旋转，所述伸缩电机与所述机械臂组件510一一对应设置且用于驱动对应的所述机械臂组件510伸缩调节，其中，N为大于1的正整数，所述控制方法包括： S1：所述真空机械手500根据上位机发送的指令并结合示教好的工位800位置，来选择对应的控制模式，其中，所述控制模式包括单取单放、多取多放以及交叉取放； S2：根据所选控制模式和所述工位800位置，规划得到运动轨迹； S3：通过正向或反向运动学算法，将机械手关节坐标系与电机坐标系进行变换，对所述运动轨迹进位置点解耦； S4：所述真空机械手500根据解耦的位置点，按照所述运动轨迹传送晶圆600； 机械手关节坐标系与电机坐标系的变换包括：机械手关节的极坐标系与所述升降电机坐标系之间、机械手关节的极坐标系与所述旋转电机坐标系之间、机械手关节的极坐标系与所述伸缩电机坐标系之间的变换； 所述真空机械手500的关节坐标定义为[R1,……RN,X,Z]，电机坐标定义为[Tz,T1,……,TN,To]，其中，R1,……RN分别为第一个至第N个所述机械臂组件510的伸缩关节位置，X为所述真空机械手500的旋转关节位置，Z为所述真空机械手500的升降关节位置，Tz为所述升降电机的码盘值，T1,……,TN分别为第一个至第N个所述伸缩电机的码盘值，To为所述旋转电机的码盘值； 所述步骤S3，包括：所述真空机械手500的旋转关节位置X与所述旋转电机的码盘值To对应转换，所述真空机械手500的升降关节位置Z与所述升降电机的码盘值Tz对应转换，所述机械臂组件510的伸缩关节位置R与所述伸缩电机的码盘值T通过正向或反向运动学算法一一对应转换； 正向运动学算法采用如下公式： ； ； 得到； 反向运动学算法采用如下公式： ； ； 得到； 其中，所述机械臂组件510包括第一臂部511和第二臂部512，所述伸缩电机驱动所述第一臂部511转动，进而带动所述第二臂部512转动；L1为所述第一臂部511的有效长度，L2为所述第二臂部512的有效长度，D为所述第一臂部511和所述第二臂部512在Y轴方向上的长度差，θ1为所述第一臂部511与所述Y轴方向之间的夹角，θ为所述第二臂部512与所述Y轴方向之间的夹角，R为所述机械臂组件510的伸缩关节位置。

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