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龙图腾网获悉上海图双精密装备有限公司申请的专利用于NOTCH类型晶圆的寻边设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120854361B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511368369.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权用于NOTCH类型晶圆的寻边设备和方法是由姜小光设计研发完成，并于2025-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于NOTCH类型晶圆的寻边设备和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于NOTCH类型晶圆的寻边设备，包括：底座以及固定于底座上方的顶板；设置于顶板上的第一和第二推挡组件、寻边传感器以及两个限位滚轮，第一和第二推挡组件分别包括第一和第二挡轮；以及设置于底座上的真空吸盘，其能够吸附晶圆并带动晶圆进行旋转运动和垂向运动；两个限位滚轮与晶圆同心且位于第一挡轮的两侧，当晶圆被吸附于真空吸盘上时第一和第二挡轮分别位于晶圆圆周外的相对两侧，第一挡轮对准晶圆的NOTCH口的目标定位方向，第二挡轮位于与目标定位方向相反的一侧，寻边传感器在晶圆旋转过程中寻找NOTCH口并使其正对第一挡轮的方向，第一和第二推挡组件被配置成分别控制第一和第二挡轮的移动以将晶圆推动至同时接触两个限位滚轮。

本发明授权用于NOTCH类型晶圆的寻边设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于NOTCH类型晶圆的寻边设备，包括： 底座以及固定于所述底座上方的顶板； 设置于所述顶板上的第一推挡组件、第二推挡组件、寻边传感器、以及两个限位滚轮，其中所述第一推挡组件包括第一挡轮，所述第二推挡组件包括第二挡轮；以及 设置于所述底座上的真空吸盘，其中所述真空吸盘能够吸附晶圆并带动所述晶圆进行旋转运动和垂向运动； 其中，所述两个限位滚轮与所述晶圆同心并且位于所述第一挡轮的两侧，并且 其中，当所述晶圆被吸附于所述真空吸盘上时，所述第一挡轮和所述第二挡轮分别位于所述晶圆圆周外的相对两侧，所述第一挡轮对准所述晶圆的NOTCH口的目标定位方向，所述第二挡轮位于与所述目标定位方向相反的一侧， 其中所述寻边传感器被配置成：在所述晶圆的旋转过程中寻找NOTCH口并使所述NOTCH口正对所述第一挡轮的方向，并且 其中所述第一推挡组件和所述第二推挡组件被配置成分别控制所述第一挡轮和所述第二挡轮的移动以将所述晶圆推动至同时接触所述两个限位滚轮。

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