中科芯微智能装备(沈阳)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利独立模块式多级误差抑制传动系统及机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120862646B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511393863.4，技术领域涉及：B25J9/10；该发明授权独立模块式多级误差抑制传动系统及机械手是由朱玉东;常志勇;董宏达;侯双明;孟君燕设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本独立模块式多级误差抑制传动系统及机械手在说明书摘要公布了：本发明公开了独立模块式多级误差抑制传动系统及机械手，涉及半导体晶圆传递设备领域，包括：臂体，沿腔室的高度方向分布有多个传动区域；至少两个带轮组，具有多个沿垂向分布的传动层级，各传动层级分别位于不同的传动区域内，且每个带轮组均包括多个带轮模块；支撑组件，包括与各传动区域对应的独立的支撑单元，支撑单元包括有定位支撑部，其可拆卸的连接于安装壳体的内周侧壁；其中，带轮模块可转动的设于支撑单元，位于不同传动区域的定位支撑部在垂向投影上交错分布，支撑组件配置为隔离并分散不同带轮模块的径向载荷传递。上述方案，使得各带轮模块之间的径向载荷与振动被分散和隔离。
本发明授权独立模块式多级误差抑制传动系统及机械手在权利要求书中公布了：1.独立模块式多级误差抑制传动系统，其特征在于，包括： 臂体1，具有腔室及围设所述腔室的壁，沿所述腔室的高度方向分布有多个传动区域； 带轮组，设置在所述腔室内，所述带轮组具有多个沿垂向分布的传动层级，各所述传动层级分别位于不同的所述传动区域内，且每个所述带轮组均包括多个带轮模块； 支撑组件4，包括与各所述传动区域对应的独立的支撑单元41，所述支撑单元41包括有定位支撑部411，所述定位支撑部411可拆卸的连接于围设所述腔室的壁； 其中，所述带轮模块可转动的设于所述支撑单元41，位于不同传动区域的所述定位支撑部411在垂向投影上交错分布，所述支撑组件4配置为隔离并分散不同所述带轮模块的径向载荷传递。
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