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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种多弧离子镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120866776B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511376492.9，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种多弧离子镀膜设备是由戚威;吕林高;汤烈明;刘汇川;李慧;陈垒;李小磊;伍德民设计研发完成，并于2025-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多弧离子镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请属于镀膜设备领域，具体公开了一种多弧离子镀膜设备，该多弧离子镀膜设备通过设置旋转轴，以及嵌套于旋转轴内部的摆动轴，配合动力源的独立动力输入，从而使得旋转轴驱动工件平台带动工件进行旋转的同时，摆动轴通过倾斜件、摆动臂、连接器和缓冲结构的互相配合，使得工件平台同时进行平稳的摆动，进而通过复合摆动机构使工件进行多自由度运动，配合多弧靶，使得工件在镀膜过程中能够可控的进行旋转的同时进行纵向循环摆动，进而以复合摆动的形式提升镀膜过程中的均匀度。

本发明授权一种多弧离子镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种多弧离子镀膜设备，其特征在于，包括： 镀膜机箱体，所述镀膜机箱体内设有空腔； 复合摆动机构，所述复合摆动机构位于所述空腔内，所述复合摆动机构包括轴体组和摆动结构，所述轴体组下端与所述空腔底端连接，所述轴体组上端与所述摆动结构相连接，所述轴体组用于驱动所述摆动结构进行偏心旋转，所述摆动结构用于带动工件同时进行旋转与摆动的动作； 工件固定部，所述工件固定部底端与所述摆动结构上端相连接，所述工件固定部用于固定工件，并在所述摆动结构的驱动下运动； 动力源，所述动力源与所述轴体组传动连接，所述动力源用于驱动轴体组转动； 所述轴体组包括旋转轴和摆动轴，所述旋转轴和所述摆动轴分别与所述动力源传动连接，所述旋转轴内部中空，所述摆动轴嵌套于所述旋转轴内部，所述旋转轴的底端支撑于所述空腔下表面，所述旋转轴的顶端设有支撑平台，所述支撑平台上端与所述工件固定部相连；所述摆动轴顶端与所述摆动结构相连接； 所述摆动结构包括倾斜件，所述倾斜件底端连接至所述摆动轴，所述倾斜件的斜面连接有摆动臂，所述摆动臂与所述工件固定部可拆卸连接，所述摆动轴驱动所述摆动臂带动所述工件固定部摆动； 所述摆动结构还包括连接器，所述连接器的顶端与所述工件固定部的底端连接，所述摆动臂的顶端通过锁紧结构与所述连接器的底端配合连接； 所述复合摆动机构还包括缓冲结构，所述缓冲结构的下端连接至所述支撑平台，所述缓冲结构的上端连接至所述工件固定部。

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