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龙图腾网获悉德州金奈尔新材料科技有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜机防颗粒物污染挡板结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120866782B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511361605.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射镀膜机防颗粒物污染挡板结构是由王俊华设计研发完成，并于2025-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控溅射镀膜机防颗粒物污染挡板结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁控溅射镀膜机防颗粒物污染挡板结构，属于磁控溅射镀膜领域，包括内安装板和固接在内安装板一侧的靶材，还包括连接在内安装板一侧的转动部、与转动部相连的第二挡板、位于第二挡板下端的第一挡板、开设在第一挡板内部的镂空腔体、固接在第一挡板一侧的多个支撑架，且多个支撑架的另一端固接在靶材的外表面上；所述转动部包括固接在靶材内且一端与内安装板一侧固接的中空导杆；由于第一挡板为固定设置并位于靶材边沿处的上方，大多数从靶材边缘剥落或飞溅出来的大颗粒，绝大部分会直接撞击并吸附在第一挡板的底部，而无法继续飞向基片，显著降低大颗粒直接到达基片的概率，提升薄膜的电学、光学、机械性能和器件可靠性。

本发明授权一种磁控溅射镀膜机防颗粒物污染挡板结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜机防颗粒物污染挡板结构，包括内安装板6和固接在内安装板6一侧的靶材1，其特征在于： 还包括连接在内安装板6一侧的转动部5、与转动部5相连的第二挡板4、位于第二挡板4下端的第一挡板3、开设在第一挡板3内部的镂空腔体31、固接在第一挡板3一侧的多个支撑架2，且多个支撑架2的另一端固接在靶材1的外表面上； 所述转动部5包括固接在靶材1内且一端与内安装板6一侧固接的中空导杆51、转动连接在中空导杆51内部的转动杆53、固接在转动杆53一端的转动座52、与转动杆53相连的驱动部8，且第二挡板4的一侧与转动座52相连，所述转动杆53的一端从中空导杆51的一端伸出并与转动座52固接； 所述转动杆53的内部开设有活动槽一531，且活动槽一531内部活动插接有驱动杆54； 所述驱动部8包括外安装板7、固接在外安装板7一侧的支架81、转动连接在外安装板7一侧的齿轮一83、转动连接在外安装板7一侧并与齿轮一83相啮合的齿轮二84、固接在支架81一侧的电机82，且电机82的输出轴贯穿支架81并与齿轮一83固接；所述转动杆53的一端活动插接在外安装板7中，所述驱动杆54的一端贯穿外安装板7并与齿轮二84一侧固接； 所述活动槽一531内部还设有拉簧55，且拉簧55的两端分别与活动槽一531内壁和驱动杆54一端相连，所述转动杆53的外表面固接有两个拨块57，且两个拨块57的两侧均开设有斜面二571，所述外安装板7的一侧固接有两个凸块56，且两个凸块56的两侧均开设有斜面一561。

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