苏州中科科仪技术发展有限公司张峥获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中科科仪技术发展有限公司申请的专利磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120869035B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511343769.8,技术领域涉及:G01B21/24;该发明授权磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装及方法是由张峥;张亚新;白生伟;韩超设计研发完成,并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装及方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装及方法,其属于同心度检测这一技术领域,其技术要点在于:包括:高精度回转平台组件,其作为待测径向定子组件的放置平台;所述高精度回转平台组件包括:V型定位块、夹紧装置、精密回转主轴驱动转台;所述V型定位块和所述夹紧装置用于将所述待测径向定子组件固定在所述精密回转主轴驱动转台上;所述精密回转主轴驱动转台用于带动待测径向定子组件进行回转运动;工装轴运动控制组件能够控制工装轴进入到待测径向定子组件中。采用本申请的技术方案,能够对待测径向定子组件的上径向传感器、下径向传感器的同心度进行测试。
本发明授权磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装及方法在权利要求书中公布了:1.一种磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测方法,其采用一种磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装对待测径向定子组件的上径向传感器、下径向传感器的同心度进行测试; 所述磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装,包括: a,工装轴,其呈竖向状态设置,其设置在工装轴运动控制组件的移动端的下部; b,工装轴运动控制组件,其用于控制工装轴的位置;所述工装轴运动控制组件能够控制工装轴在竖向方向移动; c,高精度回转平台组件,其作为待测径向定子组件的放置平台;所述高精度回转平台组件包括:V型定位块、夹紧装置、精密回转主轴驱动转台;所述V型定位块和所述夹紧装置用于将所述待测径向定子组件固定在所述精密回转主轴驱动转台上;所述精密回转主轴驱动转台用于带动待测径向定子组件进行回转运动; d,工装轴运动控制组件能够控制工装轴进入到待测径向定子组件中; 所述上径向传感器有四个测点,4个测点的相位角为90°,记为第一~第四测点;下径向传感器有四个测点,4个测点的相位角为90°,记为第五~第八测点;第一测点为X+测点,第二测点为Y+测点,第三测点1-3为X-测点,第四测点为Y-测点;第五测点为X+测点,第六测点为Y+测点,第七测点为X-测点,第八测点为Y-测点; 其特征在于,包括以下步骤: S100,将待测径向定子组件安装在精密回转主轴驱动转台上:通过V型定位块和夹紧装置来将待测径向定子组件固定在精密回转主轴驱动转台上; S200,工装轴运动控制组件移动工装轴,使得工装轴插入到待测径向定子组件中; S300,测试δ短1~δ短8、δ长1~δ短8; 对于任意δ短i、δ长i,其测试方法如下: 精密回转主轴驱动转台带着待测径向定子组件转动一圈,在此过程中,第i测点测得的距离最小数值为δ短i、距离最大数值为δ长i; S400,求解上径向传感器、下径向传感器的中心点之间的偏心距L; L=0.5×[δ短5+δ长5-δ短7-δ长7-δ短1-δ长1+δ短3+δ长32+δ短6+δ长6-δ短8-δ长8-δ短2-δ长2+δ短4+δ长42]0.5。
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