哈尔滨工业大学(威海);常州宏巨电子科技有限公司于子康获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(威海);常州宏巨电子科技有限公司申请的专利一种功率模块散热结构及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120878552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511374969.X,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权一种功率模块散热结构及其制造方法是由于子康;王华涛;韩艺俏;宋涛;王磊;宋晓云设计研发完成,并于2025-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种功率模块散热结构及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公布了一种功率模块散热结构及其制造方法,属于半导体器件领域。首先,通过梯度压延工艺制备纤维增强相变层,再将低热阻界面材料与液冷板主体复合,使用覆膜设备将均温薄膜与低热阻界面材料复合,通过梯度热压工艺得到均温液冷板,然后将纤维增强相变层安装在芯片两侧,再将均温液冷板与芯片层交替堆叠,得到具有n层功率芯片与n+1层均温液冷板的堆叠结构n≥1,且n为整数,再对装置整体加压并安装紧固结构,最后安装液冷管道并应用。本方法制备的散热结构具有空间利用率高、散热高效的特点。本方法操作简单、生产效率高,适用于工业化生产。
本发明授权一种功率模块散热结构及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种功率模块散热结构的制造方法,其特征在于,其结构包括:第一均温液冷板...第n均温液冷板、第n+1均温液冷板、纤维增强相变层、第一功率芯片层...第n-1功率芯片层、第n功率芯片层、紧固结构、液冷管道,其中,n≥1,且n为整数,其制造步骤包括: S01,纤维增强相变层制备:通过机械搅拌、离心除泡与压延工艺得到垫片状导热相变材料,将导热纤维布水平放置在两垫片状导热相变材料的片层中间,通过梯度压延工艺得到纤维增强相变层; S02,均温液冷板制备:使用贴装工艺、丝印工艺或点胶工艺将低热阻界面材料与液冷板进行复合,再通过卷对卷覆膜设备将均温薄膜与低热阻界面材料进行连接,将所得结构整体置于压机内进行梯度热压,保压一段时间后得到均温液冷板,热压前所用材料为低热阻界面材料,热压后低热阻界面材料形成低热阻界面层结构,所用薄膜材料的面内热导率大于200Wm·K、厚度低于100µm,含金属、碳化硅、金刚石、碳纳米管、石墨烯、石墨纳米片、石墨、碳纤维、陶瓷纤维的一种或多种,低热阻界面层的热阻50Psi压力下低于0.1℃·cm2W,低热阻界面材料为导热凝胶、导热相变材料、导热脂、导热垫片的一种或多种; S03,第一功率芯片层安装:将第一功率芯片层双面贴装S01所得纤维增强相变层,然后将所得结构安装至S02所得第一均温液冷板均温薄膜一侧表面的设计位置; S04,第二均温液冷板安装:将S02制备的第二均温液冷板安装在S03所得结构中第一功率芯片层上裸露的纤维增强相变层的一面; S05,逐层堆叠:重复S03步骤与S04步骤,得到具有n层功率芯片与n+1层均温液冷板的堆叠结构; S06,紧固结构安装:将S05所得结构进行升温并在垂直于芯片表面的方向加压,保持一段时间,在液冷板表面预留位置进行机械紧固后卸掉压力; S07,流道连接:将液冷管道与S06所得结构中各层液冷板进行连接,通入冷却液并工作, 所述S02步骤的液冷板包括第一液冷板...第n液冷板以及第n+1液冷板,第一液冷板与第n+1液冷板均单面复合均温薄膜,第一液冷板与第n+1液冷板之间的液冷板均双面复合均温薄膜,n≥1,所述液冷板为吹胀式液冷板、冲压式液冷板、装配式液冷板的一种或多种,液冷板的进水口与出水口与液冷板主体的连接方法为焊接、卡扣连接、垫密封圈、螺纹连接、过盈配合、灌密封胶的一种或多种,焊接方式为搅拌摩擦焊或钎焊,液冷板主体所用材料的热导率大于20Wm·K,含铜合金、铝合金、铜基复合材料、铝基复合材料、石墨、导热塑料、氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化硼陶瓷的一种或多种,其厚度范围为0.1mm~50mm。
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