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龙图腾网获悉长春智冉光电科技有限公司申请的专利一种深紫外球面折反射式检测物镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120891626B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511431951.9，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种深紫外球面折反射式检测物镜是由初宏亮;王富国设计研发完成，并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种深紫外球面折反射式检测物镜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种深紫外球面折反射式检测物镜，涉及光学技术领域，包括第一透镜组、第二透镜组和光阑，第一透镜组的一侧设置为物面，第一透镜组位于第二透镜组和物面之间，第一透镜组用于汇聚光线，并校正第二透镜组的残余像差，光阑设置于第二透镜组中间，第二透镜组与光阑用于校正系统的慧差等垂轴像差。本发明物镜采用球面折反射式结构，可以实现深紫外波段应用，具有大的数值孔径，数值孔径可以达到0.8，更短的波长更大的数值孔径具有更高的分辨率，从而可以检测更微小的缺陷，且工作距离可以大于10mm，且在实现了大NA设计的基础上，压缩了系统长度，减少了原件数量，仅需要5片镜片，结构简单，便于安装和检测。

本发明授权一种深紫外球面折反射式检测物镜在权利要求书中公布了：1.一种深紫外球面折反射式检测物镜，其特征在于，包括： 第一透镜组1，所述第一透镜组1的一侧设置为物面，所述第一透镜组1包括： 第一弯月透镜11，所述第一弯月透镜11具有正光焦度，所述第一弯月透镜11的两侧均设置有第一曲面111和第二曲面112，所述第一曲面111为凹面，所述第二曲面112为凸面； 第二弯月透镜12，所述第二弯月透镜12具有正光焦度，所述第二弯月透镜12的两侧均设置有第三曲面121和第四曲面122，所述第三曲面121为凹面，所述第四曲面122为凸面； 双凸透镜13，所述双凸透镜13具有正光焦度，所述双凸透镜13的两侧均设置有第五曲面131和第六曲面132，所述第五曲面131与第六曲面132均为凸面； 第二透镜组2，所述第一透镜组1位于第二透镜组2和物面之间，所述第一透镜组1用于汇聚光线，并校正第二透镜组2的残余像差，所述第二透镜组2包括： 第三透镜21，所述第三透镜21的两侧均设置有第七曲面211和第八曲面212，所述第七曲面211的主体为平面，所述第七曲面211的中心设置有一个凹的球面，所述第八曲面212为凹面，所述第三透镜21具有正光焦度，所述第三透镜21的第八曲面212镀反射镜膜，用于反射发散光线，所述第三透镜21的第七曲面211的平面镀增透膜，用于透射光线； 第四透镜22，所述第四透镜22的两侧均设置有第九曲面221和第十曲面222，所述第九曲面221为凹面，所述第十曲面222位凸面，所述第四透镜22具有正光焦度，所述第四透镜22的第十曲面222镀反射膜，中心镀增透膜； 光阑3，所述光阑3设置于第三透镜21与第四透镜22之间，用于校正系统的慧差等垂轴像差。

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