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长春长光精瓷复合材料有限公司董斌超获国家专利权

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龙图腾网获悉长春长光精瓷复合材料有限公司申请的专利一种碳化硅晶舟制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120903943B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511447069.3,技术领域涉及:C04B35/565;该发明授权一种碳化硅晶舟制备方法是由董斌超;周立勋;曹琪设计研发完成,并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种碳化硅晶舟制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种碳化硅晶舟制备方法,涉及碳化硅陶瓷技术领域。该方法包括:制备预制体浆料,注入模具经振动排气、固化、脱模及干燥得到预制体部件;在连接面涂覆纳米增强粘结浆料,粘接校准后喷涂可剥离层浆料并干燥;将装配后的预制体在氩气保护下按特定曲线烧结,经清洗、线切割开槽及表面研磨制得成品。本发明通过分体拼接工艺、纳米增强相优化及可剥离层辅助连接,解决了整体成型复杂结构适应性差、连接强度不足等问题,提升了晶舟的密度、力学性能及热稳定性,适用于半导体领域对高性能晶舟的需求。

本发明授权一种碳化硅晶舟制备方法在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶舟制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:将SiC粉、硅粉、水基凝胶和六偏磷酸钠搅拌均匀,制得预制体浆料; S2:将预制体浆料注入模具,经振动排气、固化后脱模,干燥处理,得到预制体底板、预制体立柱和预制体瓦片舟; S3:在预制体底板、预制体立柱和预制体瓦片舟的连接面涂覆纳米增强粘结浆料,形成增强粘结层,将预制体底板、预制体立柱和预制体瓦片舟通过增强粘结层粘接并校准,在预制体连接处喷涂可剥离层浆料,经干燥形成可剥离层,制得装配后的预制体; S4:将装配后的预制体置于烧结炉中,在氩气保护气氛下按特定烧结曲线烧结,得到烧结坯体; S5:将烧结坯体清洗、干燥、线切割开槽、表面研磨,制得碳化硅晶舟; 所述水基凝胶:按质量百分比计,由0.5wt%-2wt%丙烯酰胺、0.05wt%-0.3wt%N,N'-亚甲基双丙烯酰胺、1wt%-3wt%聚羧酸铵、5wt%-8wt%聚乙烯醇、0.5wt%-2wt%羧甲基纤维素与余量去离子水在60℃-80℃搅拌制成,制得水基凝胶; 所述可剥离层浆料:按重量份数计,3-5份淀粉、1-1.5份聚乙烯醇与8-12份去离子水加热至60℃-80℃搅拌至糊状制成,粘度控制在1200mPa·s-1600mPa·s,制备得到可剥离层浆料; 将SiC粉和硅纳米粉分散于pH=10-11的碱性去离子水中,加入硅烷偶联剂KH-550,在60℃-70℃搅拌20min-30min,加入水基凝胶和纳米硼粉以200rpm-400rpm搅拌20min-40min,最终粘度控制在2000mPa·s-3000mPa·s,得到纳米增强粘结浆料。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长春长光精瓷复合材料有限公司,其通讯地址为:130000 吉林省长春市经济开发区淄博路1783-15;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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