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合肥昱驰真空技术有限公司刘敏强获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥昱驰真空技术有限公司申请的专利一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120906901B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511447253.8,技术领域涉及:F16C32/04;该发明授权一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法是由刘敏强;董欣;郁晋军;马艳武设计研发完成,并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法在说明书摘要公布了:本申请涉及轴承控制技术领域,尤其涉及一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法,本申请提出以下方案,获取转子相对于磁悬浮轴承的径向位移观测量;在平均抽运的约束条件下,向径向X力通道和径向Y力通道注入零均值微扰并采集响应数据;基于响应数据计算分式延迟参数集合及其不确定域;根据所述参数集合更新时变控制矩阵,生成控制电流指令以驱动对置电磁极;本申请通过在时间域与角度域同时实现零均值约束和能量均衡,精确辨识并补偿横向非互易分式延迟,有效提高磁悬浮轴承的稳定性和分子泵的抽运性能。

本发明授权一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法在权利要求书中公布了:1.一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法,其特征在于,所述分子泵包括转子、磁悬浮轴承、控制器和定子,其中所述控制器内配置用于控制磁悬浮轴承的径向X力通道和径向Y力通道的时变控制矩阵,所述方法包括: 获取所述转子相对于所述磁悬浮轴承的径向位移观测量; 根据所述径向位移观测量,在平均抽运的约束条件下,向所述径向X力通道和径向Y力通道注入零均值微扰,得到响应数据,具体包括: 根据所述平均抽运的频率将所述径向位移观测量转化为轨迹曲线; 对所述轨迹曲线进行约束修正,得到参考轨迹曲线,其中所述约束修正包括时间均值约束和零偏约束; 对所述参考轨迹曲线进行极值检测,得到根据时间顺序排列的局部最大值和与局部最大值对应的后继局部最小值,汇总局部最大值和后继局部最小值得到极值配对集合; 以所述极值配对集合为触发序列,计算触发序列对应的零均值微扰,具体包括: 将磁悬浮轴承对应的角度扇区进行象限化分区,得到参考象限,其中所述参考象限包括第一象限、第二象限、第三象限和第四象限,每一象限根据角度扇区进行分配; 在每一象限中预设多个矢量原子组成的码书,其中所述矢量原子为用于扰动所述径向X力通道和径向Y力通道的微扰模板,所述微扰模板至少包括单瓣短时模板和双瓣对消模板中的一个,同一码书内矢量原子的面积等值且符号交替相反; 根据所述极值配对集合,对每一局部最大值和后继局部最小值对应的极值对进行原子选择,其中所述原子选择包括根据所述参考轨迹曲线在极值对对应时刻的径向,确定所述极值对的象限,并根据选择顺序确定对应的矢量原子; 在原子选择的过程中,记录各象限码书的剩余额度,若所述剩余额度小于预设的额度阈值,将对应的码书中剩余的矢量原子的微扰模板替换为双瓣对消模板; 通过贪心算法将存储有局部最大值或后继局部最小值的矢量原子进行拼接,得到候选微扰; 根据所述局部最大值和后继局部最小值对所述候选微扰进行修正,得到零均值微扰; 根据所述响应数据计算分式延迟参数集合,具体包括: 确定所述零均值微扰对应的锁相参考,以所述锁相参考为参考基准,对所述响应数据进行相干解调和同步平均,提取幅值信息和相位信息并组合得到对应的锁相复数传递点集合; 对所述锁相复数传递点集合进行筛选预处理,根据剩余的锁相复数传递点对应的信噪比,计算筛选预处理后的锁相复数传递点集合的拟合权重,其中所述筛选预处理包括一致性筛选和频带避让; 根据所述拟合权重对所述锁相复数传递点集合进行幅相拟合,得到分式延迟参数集合; 根据所述分式延迟参数集合更新时变控制矩阵,以生成控制电流指令,具体包括: 根据所述分式延迟参数集合计算径向X力通道和径向Y力通道对应的延迟等化矩阵和交叉耦合增益,其中所述延迟等化矩阵通过对分式延迟参数集合中的延迟量进行小数阶延迟近似拟合计算得到,所述交叉耦合增益通过对分式延迟参数集合中的幅值分量和相位分量进行加权拟合并结合交叉通道的幅相统计结果计算得到; 根据所述交叉耦合增益生成反向耦合前馈通道,根据所述反向耦合前馈通道在所述时变控制矩阵中嵌入对应的位移-电流反馈,得到候选时变控制矩阵; 根据所述延迟等化矩阵对所述候选时变控制矩阵进行矩阵融合,得到更新时变控制矩阵。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥昱驰真空技术有限公司,其通讯地址为:230601 安徽省合肥市高新区长宁大道与长安路交口西南角集成电路标准化厂房A-1#厂房3层301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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