中科芯微智能装备(沈阳)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利真空机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120921341B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511453104.2，技术领域涉及：B25J9/04；该发明授权真空机械手是由朱玉东;常志勇;董宏达;侯双明;孟君燕;张佳媛设计研发完成，并于2025-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空机械手在说明书摘要公布了：本发明公开了真空机械手，涉及半导体晶圆传递设备领域，包括动力传递机构，其包括：至少两个带轮，其中一个带轮与近侧端的轴线同轴设置，另一个带轮与远侧端的轴线同轴设置，至少两个带轮中的至少一个带轮包括至少两个同轴设置且能够相对旋转的转动部；传动带，用于传递扭矩；约束件，设置在相邻的所述转动部之间，以限制相邻的所述转动部之间的相对角位移；其中，当所述约束件解除对转动部的约束时，转动部能够发生相对旋转，以改变所述传动带在所述转动部上的包绕长度并调节所述传动带的张紧度。上述方案在空间受限、结构紧凑的真空机械手传动系统中，实现对带轮快速且精准的张紧控制。
本发明授权真空机械手在权利要求书中公布了：1.真空机械手，包括本体7及枢转连接于所述本体7的至少一个臂，至少一个臂具有近侧端、远侧端及动力传递机构，所述动力传递机构配置于所述近侧端与远侧端之间，用以传递动力，其特征在于，所述动力传递机构包括： 至少两个带轮，其中一个带轮与近侧端的轴线同轴设置，另一个带轮与远侧端的轴线同轴设置，至少两个带轮中的至少一个带轮包括至少两个同轴设置且能够相对旋转的转动部； 传动带，具有至少两个端部，其中一端部连接于其中一个带轮，另一端部连接于另一个带轮，且所述传动带部分地包覆于至少两个带轮的外周面； 约束件，设置在相邻的所述转动部之间，以限制相邻的所述转动部之间的相对角位移； 其中，当所述约束件解除对所述转动部的约束时，所述转动部能够发生相对旋转，以改变所述传动带在所述转动部上的包绕长度并调节所述传动带的张紧度。
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