全椒亚格泰电子新材料科技有限公司;安徽亚格盛电子新材料股份有限公司郑春宁获国家专利权
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龙图腾网获悉全椒亚格泰电子新材料科技有限公司;安徽亚格盛电子新材料股份有限公司申请的专利一种乙硅烷提质装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223628374U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520278888.9，技术领域涉及：B01D53/18；该实用新型一种乙硅烷提质装置是由郑春宁;张佳乐;魏入铎;邹来飞;沈庆设计研发完成，并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种乙硅烷提质装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及乙硅烷提纯技术领域，具体涉及一种乙硅烷提质装置，包括筒体，筒体底部开设有进气口，顶部分别开设有废气口和连接口；包括温控组件，设置于筒体外侧，用于调节筒体内温度；包括喷头，设置于筒体内部，位于废气口下侧，通过第一管道与外部的液氨源连通；包括纯化装置，通过第二管道与连接口连接。温控组件降低筒体内的温度后，再将待提质的乙硅烷气体从进气口通入筒体内，与喷头喷出的液氮接触，使得乙硅烷溶于液氨中，而其他杂质上升后经废气口排出，进气完成后，打开连接口，再控制温控组件加热筒体，直至氨气‑乙硅烷混合气体进入纯化装置内，纯化装置吸附混合气体中的氨气，最终得到成品乙硅烷。
本实用新型一种乙硅烷提质装置在权利要求书中公布了：1.一种乙硅烷提质装置，其特征在于：包括筒体1，筒体1底部开设有进气口11，顶部分别开设有废气口12和连接口13； 包括温控组件，设置于筒体1外侧，用于调节筒体1内温度； 包括喷头3，设置于筒体1内部，位于废气口12下侧，通过第一管道31与外部的液氨源连通； 包括纯化装置4，通过第二管道41与连接口13连接。
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